<html>

  <head>

    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=utf-8">

  </head>

  <body bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">

    Dear Labnetwork colleagues,<br>

    <br>

    I have a user that wants to study iron oxide using our home/custom

    build ALD. Currently it is still going under optimization for HfO2

    as I just got it running a month ago. Our system would have the

    capabilities to run some of the lesser hazardous precursors, but I

    was wanting to know if anyone has experience with doing ALD of FeOx

    and if there are any major issues to look out for, e.g.

    contamination, build up of toxic by products. The user only wants to

    study samples with 1-2 ML depositions with water as the oxidizer.<br>

    <p>Regards.</p>

    <p>Chito Kendrick  <br>

    </p>

    <br>

    <div class="moz-signature">-- <br>

      <a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/">Chito

        Kendrick Ph.D.</a><br>

      <br>

      Managing Director of the Microfabrication Facility<br>

      Research Assistant Professor<br>

      Electrical and Computer Engineering<br>

      Michigan Technological University<br>

      Room 436 M&M Building<br>

      1400 Townsend Dr.<br>

      Houghton, Michigan 49931-1295<br>

      <br>

      814-308-4255<br>

    </div>

  </body>

</html>