
<html><head><meta http-equiv="Content-Type" content="text/html charset=utf-8"></head><body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;" class="">

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8" class=""><div dir="auto" style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space;" class="">Hi,<div class=""> Does anybody have Tokyo Electron machines in a shared facility?</div><div class="">If so, can they be made to accept wafers & samples smaller than 8” (e.g. by using handle-wafers)?</div><div class=""><br class=""></div><div class="">Any insights would be highly appreciated.</div><div class="">Thx,</div><div class=""> Vicky </div><div class=""><br class=""></div></div><br class=""><br class=""><div class="">

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Dr. Vicky Diadiuk</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Associate Director, Fab Operations</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Microsystems Technology Laboratories</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Massachusetts Institute of Technology</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Room 39-219</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Cambridge, MA 02139</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">Tel: 617-253-0731</div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;"><a href="mailto:diadiuk@mit.edu" class="">diadiuk@mit.edu</a></div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;"><a href="http://www.mtl.mit.edu" class="">http://www.mtl.mit.edu</a></div><div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Garamond; font-size: 14px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;" class=""><br class=""></div><br class="Apple-interchange-newline">

</div>

<br class=""></body></html>