<html>
  <head>
    <meta content="text/html; charset=ISO-8859-1"
      http-equiv="Content-Type">
  </head>
  <body bgcolor="#FFFFFF" text="#000000">
    <font face="Times New Roman, Times, serif">Hi Willyan,<br>
      <br>
      Sounds like a fun project you've got there!<br>
      <br>
      So, to steer the discussion a bit, perhaps you could share some
      details:<br>
      <br>
      How much clean space do you have (inside cleanroom, under HEPA
      coverage, as opposed to "gray area" or "chase", where pumps go)?<br>
      <br>
      How much chase area do you have?  At Harvard, we have found that
      roughly equal is good, and possibly a bit more than 50% chase area
      would be nice, too, if you get handy with bulk-head mounting of
      equipment (i.e. mounting systems through a hole in the cleanroom
      wall, so the back-end of tool is in chase).<br>
      <br>
      What class room is it?  (Class 10, 100, 1000, etc).<br>
      <br>
      What is your own level of semiconductor experience?  Just academic
      cleanrooms, worked for Intel/IBM, worked for capital equipment
      vendor (Lam/Ulvac/Applied Materials)?  This will help folks know
      what level of details to go into in their answers.<br>
      <br>
      What do your professors want to work on?  This is usually the
      first question we ask when considering new purchases.<br>
      <br>
      What do you expect the balance to be between academic users and
      commercial users (startup companies will often use shared-use
      facilities to demonstrate "proof-of-concept", before they get
      major funding for their own facilities.)<br>
      <br>
      From my own experience, I would say: <br>
      <br>
      Never mind a track system, as they are more aimed at
      cassette-loads and full wafers, i.e. industrial users. Ditto wafer
      bonder.  Ours gets very little use.<br>
      <br>
      Our maskless aligners seem to be getting very popular.<br>
      <br>
      Atomic Layer Deposition should be on your list, unless you know
      everyone will only be making large devices with micron-scale films
      (as opposed to nano-scale films less than 200nm).  They are cheap,
      easy to maintain, and, at CNS, easily the 3rd or 4th busiest tools
      (after evaporators, sputters, and E-Beam lithography, which
      probably is not on your list).  Very handy, easy to use, just the
      ticket!<br>
      <br>
      Last but not least!:  What is your budget?  That is usually the
      most determining factor, for all of us!<br>
      <br>
      Do you think you will get continuing/any support from your
      institution, or do you have to make your first infusion of money
      go a really long way?...<br>
      <br>
      With a few experienced, saavy engineers, you can make a few $100K
      go a long way with used equipment, carefully selected. (Well,
      maybe not a <i>long</i> way...)<br>
      <br>
      And, since our characterization guru just walked in, have you
      given thought to characterization equipment, and at least a few
      metrology tools?  Profilometer, ellipsometer, and a few high
      quality microscopes, I should think...<br>
      <br>
      Let us know about the above parameters, and the ideas will start
      flowing, no doubt.<br>
      <br>
      One approach, if these questions are keeping you up at night, is
      to go various academic cleanroom websites (Harvard CNS, Cornell,
      Stanford, Berkeley, all the old NNIN and the new NNCI locations)
      and look at their tool sets.  This will give you some good ideas
      for a starting place (similar to the items on your list, but with
      vendor/model information).<br>
      <br>
      <br>
      Mac<br>
      <br>
    </font>
    <div class="moz-signature">
      <meta http-equiv="Content-Type" content="text/html;
        charset=ISO-8859-1">
      <meta name="ProgId" content="Word.Document">
      <meta name="Generator" content="Microsoft Word 14">
      <meta name="Originator" content="Microsoft Word 14">
      <link rel="File-List"
        href="Mac%20Hathaway%20Email%20Signature%20File_files/filelist.xml">
      <!--[if gte mso 9]><xml>
 <o:DocumentProperties>
  <o:Author>Mac</o:Author>
  <o:LastAuthor>Mac</o:LastAuthor>
  <o:Revision>2</o:Revision>
  <o:TotalTime>1</o:TotalTime>
  <o:Created>2014-07-10T20:07:00Z</o:Created>
  <o:LastSaved>2014-07-10T20:07:00Z</o:LastSaved>
  <o:Pages>1</o:Pages>
  <o:Words>20</o:Words>
  <o:Characters>115</o:Characters>
  <o:Company>Harvard University</o:Company>
  <o:Lines>1</o:Lines>
  <o:Paragraphs>1</o:Paragraphs>
  <o:CharactersWithSpaces>134</o:CharactersWithSpaces>
  <o:Version>14.00</o:Version>
 </o:DocumentProperties>
 <o:OfficeDocumentSettings>
  <o:AllowPNG/>
 </o:OfficeDocumentSettings>
</xml><![endif]-->
      <link rel="themeData"
        href="Mac%20Hathaway%20Email%20Signature%20File_files/themedata.thmx">
      <link rel="colorSchemeMapping"
href="Mac%20Hathaway%20Email%20Signature%20File_files/colorschememapping.xml">
      <!--[if gte mso 9]><xml>
 <w:WordDocument>
  <w:SpellingState>Clean</w:SpellingState>
  <w:GrammarState>Clean</w:GrammarState>
  <w:TrackMoves>false</w:TrackMoves>
  <w:TrackFormatting/>
  <w:PunctuationKerning/>
  <w:ValidateAgainstSchemas/>
  <w:SaveIfXMLInvalid>false</w:SaveIfXMLInvalid>
  <w:IgnoreMixedContent>false</w:IgnoreMixedContent>
  <w:AlwaysShowPlaceholderText>false</w:AlwaysShowPlaceholderText>
  <w:DoNotPromoteQF/>
  <w:LidThemeOther>EN-US</w:LidThemeOther>
  <w:LidThemeAsian>X-NONE</w:LidThemeAsian>
  <w:LidThemeComplexScript>X-NONE</w:LidThemeComplexScript>
  <w:Compatibility>
   <w:BreakWrappedTables/>
   <w:SnapToGridInCell/>
   <w:WrapTextWithPunct/>
   <w:UseAsianBreakRules/>
   <w:DontGrowAutofit/>
   <w:DontUseIndentAsNumberingTabStop/>
   <w:FELineBreak11/>
   <w:WW11IndentRules/>
   <w:DontAutofitConstrainedTables/>
   <w:AutofitLikeWW11/>
   <w:HangulWidthLikeWW11/>
   <w:UseNormalStyleForList/>
   <w:DontVertAlignCellWithSp/>
   <w:DontBreakConstrainedForcedTables/>
   <w:DontVertAlignInTxbx/>
   <w:Word11KerningPairs/>
   <w:CachedColBalance/>
  </w:Compatibility>
  <m:mathPr>
   <m:mathFont m:val="Cambria Math"/>
   <m:brkBin m:val="before"/>
   <m:brkBinSub m:val="--"/>
   <m:smallFrac m:val="off"/>
   <m:dispDef/>
   <m:lMargin m:val="0"/>
   <m:rMargin m:val="0"/>
   <m:defJc m:val="centerGroup"/>
   <m:wrapIndent m:val="1440"/>
   <m:intLim m:val="subSup"/>
   <m:naryLim m:val="undOvr"/>
  </m:mathPr></w:WordDocument>
</xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml>
 <w:LatentStyles DefLockedState="false" DefUnhideWhenUsed="true"
  DefSemiHidden="true" DefQFormat="false" DefPriority="99"
  LatentStyleCount="267">
  <w:LsdException Locked="false" Priority="0" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Normal"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="heading 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 7"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 8"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="9" QFormat="true" Name="heading 9"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 7"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 8"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" Name="toc 9"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="35" QFormat="true" Name="caption"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="10" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Title"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="1" Name="Default Paragraph Font"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="11" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Subtitle"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="22" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Strong"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="20" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Emphasis"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="59" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Table Grid"/>
  <w:LsdException Locked="false" UnhideWhenUsed="false" Name="Placeholder Text"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="1" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="No Spacing"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" UnhideWhenUsed="false" Name="Revision"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="34" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="List Paragraph"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="29" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Quote"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="30" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Intense Quote"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 1"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 2"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 3"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 4"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 5"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="60" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Shading Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="61" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light List Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="62" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Light Grid Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="63" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 1 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="64" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Shading 2 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="65" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 1 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="66" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium List 2 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="67" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 1 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="68" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 2 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="69" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Medium Grid 3 Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="70" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Dark List Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="71" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Shading Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="72" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful List Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="73" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" Name="Colorful Grid Accent 6"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="19" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Subtle Emphasis"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="21" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Intense Emphasis"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="31" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Subtle Reference"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="32" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Intense Reference"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="33" SemiHidden="false"
   UnhideWhenUsed="false" QFormat="true" Name="Book Title"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="37" Name="Bibliography"/>
  <w:LsdException Locked="false" Priority="39" QFormat="true" Name="TOC Heading"/>
 </w:LatentStyles>
</xml><![endif]-->
      <style>
<!--
 /* Font Definitions */
 @font-face
        {font-family:Calibri;
        panose-1:2 15 5 2 2 2 4 3 2 4;
        mso-font-charset:0;
        mso-generic-font-family:swiss;
        mso-font-pitch:variable;
        mso-font-signature:-536870145 1073786111 1 0 415 0;}
 /* Style Definitions */
 p.MsoNormal, li.MsoNormal, div.MsoNormal
        {mso-style-unhide:no;
        mso-style-qformat:yes;
        mso-style-parent:"";
        margin-top:0in;
        margin-right:0in;
        margin-bottom:10.0pt;
        margin-left:0in;
        line-height:115%;
        mso-pagination:widow-orphan;
        font-size:11.0pt;
        font-family:"Calibri","sans-serif";
        mso-fareast-font-family:Calibri;
        mso-bidi-font-family:"Times New Roman";}
span.SpellE
        {mso-style-name:"";
        mso-spl-e:yes;}
.MsoChpDefault
        {mso-style-type:export-only;
        mso-default-props:yes;
        font-family:"Calibri","sans-serif";
        mso-ascii-font-family:Calibri;
        mso-fareast-font-family:Calibri;
        mso-hansi-font-family:Calibri;}
@page WordSection1
        {size:8.5in 11.0in;
        margin:1.0in 1.0in 1.0in 1.0in;
        mso-header-margin:.5in;
        mso-footer-margin:.5in;
        mso-paper-source:0;}
div.WordSection1
        {page:WordSection1;}
-->
</style><!--[if gte mso 10]>
<style>
 /* Style Definitions */
 table.MsoNormalTable
        {mso-style-name:"Table Normal";
        mso-tstyle-rowband-size:0;
        mso-tstyle-colband-size:0;
        mso-style-noshow:yes;
        mso-style-priority:99;
        mso-style-parent:"";
        mso-padding-alt:0in 5.4pt 0in 5.4pt;
        mso-para-margin:0in;
        mso-para-margin-bottom:.0001pt;
        mso-pagination:widow-orphan;
        font-size:10.0pt;
        font-family:"Calibri","sans-serif";}
</style>
<![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml>
 <o:shapedefaults v:ext="edit" spidmax="1026"/>
</xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml>
 <o:shapelayout v:ext="edit">
  <o:idmap v:ext="edit" data="1"/>
 </o:shapelayout></xml><![endif]-->
      <div class="WordSection1">
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">Mac
            Hathaway<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">Senior
            Process and Systems Engineer<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">Harvard
            Center for <span class="SpellE">Nanoscale</span> Systems<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">11
            Oxford St.<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">Cambridge,
            MA<span style="mso-spacerun:yes">  </span>02138<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt"><span
            style="font-size:12.0pt;line-height:115%;font-family:"Times
            New Roman","serif"">617-495-9012<o:p></o:p></span></p>
        <p class="MsoNormal"
          style="margin-bottom:0in;margin-bottom:.0001pt;line-height:
          normal"><span style="font-size:12.0pt;font-family:"Times
            New Roman","serif""><o:p> </o:p></span></p>
      </div>
    </div>
    <br>
    On 12/14/2017 1:30 PM, A. William (Bill) FLOUNDERS wrote:
    <blockquote
cite="mid:CAHxjSh=7ghjCEL51rT_+whEp623E8WouiJU7-WKQN6kuQ1gbEw@mail.gmail.com"
      type="cite">
      <meta http-equiv="Content-Type" content="text/html;
        charset=ISO-8859-1">
      <div dir="ltr">
        <div>
          <div>
            <div>
              <div>
                <div>
                  <div>Willyan,<br>
                  </div>
                  Congratulations on completion of your cleanroom!<br>
                </div>
                I recall your initial inquiries in 2012.<br>
              </div>
              I expect you will receive many labnet responses to your
              inquiry.<br>
            </div>
            When communicating within/through the network, we avoid<br>
          </div>
          identifying, recommending, or discouraging specific vendors.</div>
        <div>However, personal recommendations or advisements are often
          <br>
        </div>
        <div>offered via separate email directly to the poster.</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>Network recommendations are more generic and I note Noah
          Clay from UPenn <br>
        </div>
        <div>has already set an excellent tone by encouraging you to
          consider a firm for layout <br>
        </div>
        <div>and install support.</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>Similarly, I offer two thoughts:</div>
        <div>1. Noah is being too modest - UPenn will host the next UGIM
          conference</div>
        <div><a moz-do-not-send="true"
href="https://urldefense.proofpoint.com/v2/url?u=https-3A__ugim.nano.upenn.edu_&d=DwMFaQ&c=WO-RGvefibhHBZq3fL85hQ&r=TEMLD8-VsxCGtcVzmvpT5GFNSczskEKHzW6aYlttmIY&m=QW8JuPwkDjWhjEdOOMT6kEPb94UUkhzYNkGlGwR1RJM&s=bpIOhMIH5iyynRE0yU9fCjHvTdbtu5pC31OpwXbo3KA&e=">https://ugim.nano.upenn.edu/</a></div>
        <div>This is an excellent forum for you to hear personal stories
          and receive in</div>
        <div>person vendor and equipment reviews (good and bad) from
          many of us.</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>2. I compliment your initial focus on wet benches and
          general purpose lithography</div>
        <div>equipment. This is the necessary and best place to start.</div>
        <div><br>
        </div>
        <div>I hope to see you in Philadelphia in June 2018.</div>
        <div>Bill Flounders</div>
        <div>UC Berkeley<br>
        </div>
         <br>
      </div>
      <div class="gmail_extra"><br>
        <div class="gmail_quote">On Wed, Dec 13, 2017 at 12:54 PM,
          Willyan Hasenkamp Carreira <span dir="ltr"><<a
              moz-do-not-send="true" href="mailto:HASENKAMP@unisinos.br"
              target="_blank">HASENKAMP@unisinos.br</a>></span>
          wrote:<br>
          <blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0
            .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">
            <div link="#0563C1" vlink="#954F72" lang="PT-BR">
              <div class="m_-4980872182717951618WordSection1">
                <p class="MsoNormal">Hello Everybody,</p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">I´ve recently registered to this
                  mailing (thanks to Mary Tang from Stanford) and it´s
                  great.</p>
                <p class="MsoNormal">We have recently finished our small
                  cleanroom, down south in Brazil, and just yesterday we
                  got the grant for purchasing a few microfabrication
                  tools.</p>
                <p class="MsoNormal">Literaly we have nothing, lab is
                  empty... but we would like to start doing some
                  microsystems.
                </p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">It would be very nice to have your
                  opinion and references on equipment we could purchase.
                </p>
                <p class="MsoNormal">Please consider equipment
                  flexibility, versatility, maintainance cost and
                  difficulties. Also, students will be allowed to use
                  them... which can be a burden.</p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">I do not know if we are going in a
                  good direction but we have selected some equipment to
                  start with:</p>
                <p class="MsoNormal">- Laserwriter (which way to go?
                  Maskless aligner or direct laser write. Any
                  suggestion? Brand? We know of Heidelberg, but what
                  about Microwriter ML3 or Picomaster 2000, anyother?
                  Does anybody have some comments?)</p>
                <p class="MsoNormal">- Mask aligner... we will need it
                  if the choice is to go with direct laser write...
                  (Here we have suss and evg. Which one would you
                  prefer?)</p>
                <p class="MsoNormal">- Plasma etch – RIE (Any equipment
                  suggestion? We found Oxford equipment... any other
                  that could fit?)</p>
                <p class="MsoNormal">- Sputtering/PECVD (Does a dual
                  system for metal and dielectrics make sense? Which
                  fabricant do you have a good user and maintainance
                  experience?)</p>
                <p class="MsoNormal">- Wetbench... (its hard to find
                  such things here in Brazil. Do you have any
                  configuration suggestion that has being working?)</p>
                <p class="MsoNormal">- Resist coating and development
                  (Any suggestion? Suss has some things but are there
                  other suggestions? I think Brewer also have some
                  things...)</p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">- Other suggestions? Wafer bonding,
                  RTP, spin track for coat and dev, oven...
                </p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">It is really basic things, we just
                  once dreamed to build such small facility 5 years ago
                  and things are fortunately moving.
                </p>
                <p class="MsoNormal">Also some disclaimer... We have
                  never done it, all the people here probably have used
                  your facilities but it is another level to build and
                  run one... therefore your honest opion is again
                  extremelly important. Thank you all for your attention
                  and I will keep you posted how things move on.</p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal">Kind regards,</p>
                <p class="MsoNormal">Willyan</p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">--</span></p>
                <p class="MsoNormal"><b><span
                      style="font-size:10.0pt;color:black">Willyan
                      Hasenkamp</span></b></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">Universidade do
                    Vale do Rio dos Sinos - Unisinos</span></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">Instituto
                    Tecnológico de Semicondutores - itt Chip</span></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">Escola
                    Politécnica</span></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">Programa de
                    Pós-Graduação em Engenharia Elétrica</span></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black">Av. Unisinos
                    950, 93022-750, São Leopoldo, RS</span></p>
                <p class="MsoNormal"><span
                    style="font-size:10.0pt;color:black"><a
                      moz-do-not-send="true"
href="https://urldefense.proofpoint.com/v2/url?u=http-3A__www.unisinos.br_&d=DwMFaQ&c=WO-RGvefibhHBZq3fL85hQ&r=TEMLD8-VsxCGtcVzmvpT5GFNSczskEKHzW6aYlttmIY&m=QW8JuPwkDjWhjEdOOMT6kEPb94UUkhzYNkGlGwR1RJM&s=QCcNwCqwxnBsfaD6IzofI-f8YqnqDNpWmBViilVRJFM&e="
                      target="_blank"><span style="color:#0563c1">www.unisinos.br</span></a>
                    - Phone: <a moz-do-not-send="true"
                      href="tel:+55%2051%203591-1122"
                      value="+555135911122" target="_blank">+55 (51)
                      3591-1122</a> / Ramal: 3181</span><span
                    style="font-size:10.0pt"></span></p>
                <p class="MsoNormal"> </p>
              </div>
              <br>
              <p><font size="2"><b>Aviso legal</b>: Esta mensagem
                  eletrônica e seus respectivos anexos, podem conter
                  informações confidenciais. Se você não é o(a)
                  destinatário(a) correto(a) e/ou o conteúdo do
                  <i>e-mail</i> não lhe diz respeito notifique-nos,
                  respondendo a este <i>e-mail</i> com cópia para
                  <a moz-do-not-send="true"
                    href="mailto:esirc@asav.org.br" target="_blank">esirc@asav.org.br</a>,
                  e apague-o imediatamente. Fica, desde já, notificado
                  que qualquer ação baseada no conteúdo desta mensagem é
                  estritamente proibida e ilegal.
                </font></p>
            </div>
            <br>
            ______________________________<wbr>_________________<br>
            labnetwork mailing list<br>
            <a moz-do-not-send="true"
              href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
            <a moz-do-not-send="true"
href="https://urldefense.proofpoint.com/v2/url?u=https-3A__mtl.mit.edu_mailman_listinfo.cgi_labnetwork&d=DwMFaQ&c=WO-RGvefibhHBZq3fL85hQ&r=TEMLD8-VsxCGtcVzmvpT5GFNSczskEKHzW6aYlttmIY&m=QW8JuPwkDjWhjEdOOMT6kEPb94UUkhzYNkGlGwR1RJM&s=yKbY1UY-3Qt5_Kf2idOR2868wl4vz-iMIGAUIoPuUUc&e="
              rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/<wbr>listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
            <br>
          </blockquote>
        </div>
        <br>
      </div>
      <br>
      <fieldset class="mimeAttachmentHeader"></fieldset>
      <br>
      <pre wrap="">_______________________________________________
labnetwork mailing list
<a class="moz-txt-link-abbreviated" href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>
<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a>
</pre>
    </blockquote>
  </body>
</html>