<div dir="ltr">Happy Friday, everyone!<div><br></div><div>We're having some controller issues with our LAM 9400SE and LAM has now extended us to a 6 week lead time on the board we *hope* will solve the problem, so in the meantime we are looking for alternative locations for some of our users to be able to continue their processing. The tool supports a plethora of processes, many of which we should be able to transfer in-house to other equipment, but there are some needs we won't be able to fill. While I don't have any specific requests yet (we only just notified the users of the extension of the downtime), I suspect the areas we will need support in will be mostly:</div><div><div><ul><li>pieces, 100, 150 mm Cl/HBr processing (mainly poly-Si)</li><li>100-150 mm Cl/BCl3 processing (III-V and III-nitride and maybe a few others)</li></ul><div>If your lab might be willing to help some of these users (either via remote processing or sending the user on-site), please let me know what equipment you have that would support these processes and any material/size/process restrictions you have for the tools.</div></div><div><br></div><div>For reference, our tool configuration and approved materials are detailed on our wiki (<a href="http://lnf-wiki.eecs.umich.edu/wiki/LAM_9400">LAM 9400</a>). There are some additional materials that may be approved in certain situations (e.g. buried by PR or another material), but we will be working with each user individually to determine what process they need and what other materials are present on their samples in order to direct them appropriately.</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Kevin</div><div><br></div>-- <br><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div>Kevin Owen<div>Senior Engineer in Research</div><div>Operations Group, Lurie Nanofabrication Facility</div><div>University of Michigan</div><div>(734) 545-4014</div></div></div></div></div></div>
</div></div>