<div dir="ltr"><div><div><div>Dear all,<br><br></div>I am wondering if there is any benefit to install an i-line filter on contact mask aligner. <br><br>We have a user wanting to create a large hexagonal array of holes in positive resist. The diameter of the holes is 1um, edge to edge spacing 0.5~0.6um. Since the spacing is pretty close to the long wavelength in the broadband light source. I am afraid there will be some diffraction/inteference issues. Does anybody have experience with this? Will i-line filter hlep in this case?<br><br></div>Thanks for any feedback,<br></div>Xuekun<br><br><div><div><div><div>-- <br><div class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><font size="2" face="Tahoma">----------------------------------------</font></div>
<font face="Tahoma"><font size="2">Dr. Xuekun Lu<br>
<br>
University of California, San Diego<br>
Calit2 M/C </font></font><font face="Tahoma"><font size="2">0436<br>
9500 Gilman Drive<br>
La Jolla, CA 92093-0436<br>
<br>
For Fedex Shipping:<br>
Dr. Xuekun Lu<br>
University of California, San Diego<br>
Atkinson Hall 5th Floor Front Desk<br>
9500 Gilman Drive<br>
La Jolla, CA 92093<br>
<br>
Phone: (858) 246-0411<br>
Fax:   (858) 246-0408<br>
E-mail: <a href="mailto:xklu@ucsd.edu" target="_blank">xklu@ucsd.edu</a><br>
</font><a href="https://mail.ucsd.edu/owa/redir.aspx?C=317d92da2d2640938cbc0ac31f2a741b&URL=http%3a%2f%2fnano3.calit2.net%2f" target="_blank"><font size="2">http://nano3.calit2.net/</font></a></font></div></div>
</div></div></div></div></div>