<div dir="ltr">
<div>Response posted to network not just Iulian.<br></div><div>Discussion of bubbler vs solid source vs spin on welcome</div><div>Bill Flounders</div><div>UC Berkeley<br></div><div><br></div><div><br></div><div>Iulian,</div><div>We have used a spin on glass product for the n type doping <br></div><div>of our academic class for years.</div><div>This way you only support an oxidation / drive in furnace.</div><div>There is no need to dedicate another tube for POCl3 or solid source.</div><div>Spin on products are simple - and available in a wide variety.</div><div>Here are two sources</div><div><br></div><div><a href="https://www.filmtronics.com/" target="_blank">https://www.filmtronics.com/</a></div><div><br></div><div><a href="http://desertsilicon.com/spin-on-glass/" target="_blank">http://desertsilicon.com/spin-<wbr>on-glass/</a></div>

<br><div class="gmail_extra"><br><div class="gmail_quote">On Fri, Sep 14, 2018 at 8:24 AM, Iulian Codreanu <span dir="ltr"><<a href="mailto:codreanu@udel.edu" target="_blank">codreanu@udel.edu</a>></span> wrote:<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">Dear All,<br>
<br>
I am working on providing phosphorous doping capability at a tube furnace that will be used for fabrication classes (the first class will make a solar cell).<br>
<br>
My research to date uncovered POCl3 and solid sources as possible methods for P diffusion. As expected, each seems to come with benefits and drawbacks.<br>
<br>
I am hoping that you are willing to share your experience/advcie with me and/or the group so I can make a quick and smart decision.<br>
<br>
Thank you very much,<br>
<br>
Iulian<br>
<br>
-- <br>
iulian Codreanu, Ph.D.<br>
Director of Operations, UD NanoFab<br>
163 ISE Lab<br>
221 Academy Street<br>
Newark, DE 19716<br>
302-831-2784<br>
<a href="http://udnf.udel.edu" rel="noreferrer" target="_blank">http://udnf.udel.edu</a><br>
<br>
<br>
______________________________<wbr>_________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/li<wbr>stinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br></div></div>