<div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">We have been optimizing our FeO ALD films for a user and XPS results keep showing a high Florine content (up to 10%). I have run the system with O3 pulses and the Ar purge through the Ferrocene line, but with the precursor valve closed, and we do not see F. </div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr">We have a manual SS-42GVCR4 valve on the precursor and that has modified PTFE in the valve which might be the problem as everything else is VCR fittings. The Ferrocene is at 100 degC so I would not expect the PTFE to break down.</div><div dir="ltr"><br></div><div>We do have other o-rings on the system - seal for the lid, load lock, pump fittings; but only with the Ferrocene pulsing have we see F.</div><div><br></div><div>Do others see F in their films - does not have to be FeO. I am waiting for XPS tests to be done on some HfO films we deposited.</div><div><br></div><div>Chito Kendrick </div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><br>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><span><font color="#888888"><a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/" target="_blank">Chito
        Kendrick Ph.D.</a><br>
      <br>Managing Director of the Microfabrication Facility<br>
      Research Assistant Professor<br>
      Electrical and Computer Engineering<br>
      Michigan Technological University<br>
      Room 436 M&M Building<br>
      1400 Townsend Dr.<br>
      Houghton, Michigan 49931-1295<br>
      <br>
      <a href="tel:814-308-4255" value="+18143084255" target="_blank">814-308-4255</a></font></span></div></div></div></div></div></div></div></div>