
<html>

  <head>


    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=UTF-8">

  </head>

  <body text="#000000" bgcolor="#FFFFFF">

    <p>Dear Labnetworks community,<br>

    </p>

    <p>I'm in the process of renovating our cleanroom and want yellow

      filters that meet the specs of <i>Lithoprotect</i>, specifically,

      I want way less than 1% transmission below 500nm.  <i>Lithoprotect</i>

      (see link below) claims less than 0.001% transmission below about

      475nm.  In our old cleanroom, we used to have traditional 1%

      yellow windows that turned out to be inadequate for our maskless

      lithography system.<br>

    </p>

    <p><a moz-do-not-send="true"

href="https://www.microchemicals.com/technical_information/170823_Lithoprotect_Flyer_EN_Web.pdf">https://www.microchemicals.com/technical_information/170823_Lithoprotect_Flyer_EN_Web.pdf</a></p>

    <p>Does anyone know of a US supplier that offers similar product? 

      On the other hand, does anyone know of products that are not quite

      as performing but still offer say 0.01% transmission below 500nm? 

      We will be using 405nm and 365nm light with a traditional mask

      aligner and a maskless system.  We typically use AZ 5214E-IR and

      nLoF 2020 resists for down to 1um features; some users still use

      Shipley 1813 and we have another set of groups using SU-8

      resists.  We're not committed to any supplier but do require tight

      performance.<br>

    </p>

    <p>I'm cc'ing our cleanroom manufacturer engineers in this thread.</p>

    <p>Regards,</p>

    <p>Mario<br>

    </p>

    <div class="moz-signature">-- <br>

      <img src="cid:part2.D7DA05D4.832AB8E2@physics.ubc.ca" border="0"></div>

  </body>

</html>