<div dir="ltr">We do not evacuate between uses, but do evacuate if the lab or system is going to be down (and tagged out)  for an extended time (months). <div><br><div>For example, we were shutting a lab for 6 months for construction reasons, all of the toxic and flammables were evacuated and backfilled with UHP nitrogen ( or Argon).  The backfilling is important as you don't want to leave silane lines at vacuum.  Also, once in grad school, we did the same thing for a tool on which the only user was studying for 2 months for his prelims. That process saved lives as a new post doc decided to "borrow" a quarter turn valve off of the system without discussing it. </div></div><div><br></div><div>Bill Kiether</div><div><br></div><div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Feb 14, 2019 at 7:47 AM Bruce Tolleson <<a href="mailto:betemc@rit.edu">betemc@rit.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-US">
<div class="gmail-m_-9029609111654569875WordSection1">
<p class="MsoNormal">Dear users of Silane and Dichlorosilane,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">When your systems that use silane and dichlorosilane are not in use do you evacuate the lines going to the tool? We are looking for the best practices for gas line safety in a student environment microelectronic clean room.
<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">The gas lines are wall mount or overhead coaxial stainless steel all welded lines with excess flow sensors.
<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">What are you doing with you silane and dichlorosilane lines?<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thank you,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Bruce E. Tolleson<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Rochester Institute of Technology<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">82  Lomb Memorial Drive, Bldg 17-2627<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Rochester, NY 14623-5604<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">(585) 478-3836<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:navy"><img width="90" height="60" id="gmail-m_-9029609111654569875Picture_x0020_1" src="cid:168ecca90cf4ce8e91" alt="http://www.rit.edu/~962www/logos/tiger_walking_rit_color.jpg"></span><span style="color:rgb(31,73,125)"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>