<div dir="ltr">Dear colleagues, <div><br></div><div>Our open-access facility has a cryo-pumped, manual sputtering system plumbed with argon, oxygen, and nitrogen, which is often used for reactive sputtering (mostly oxides).  One of our users has requested the addition of forming gas (5% H₂ + balance Ar) to enable sputtering of <i>a</i>-Si:H / SiO₂ multilayers, as described in <a href="https://www.osapublishing.org/ao/abstract.cfm?uri=ao-43-17-3548">this paper</a>.  A concern was raised, however, about the possibility of explosions in the cryo during regeneration, as the frozen mixture of argon, oxygen, ozone, and hydrogen is released as the pump is warmed up.</div><div><br></div><div>Does anyone have experience with using forming gas in a cryo-pumped system, and/or know of any measures that could be taken to ensure these sputtering processes could be performed safely?  Doing this on a system equipped with a turbo pump would be better, but we are leery of putting a turbo on a manual system, where users fairly routinely crash the cryo.  As always, any advice would be greatly appreciated.</div><div><br></div><div>Many thanks.</div><div><br></div><div>Cheers,</div><div><br></div><div> – Aaron</div><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><u style="font-size:x-small">  </u><span style="font-size:x-small">                                           </span><br></div><div><span style="font-size:12.8000001907349px"><font size="1"><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Aaron Hryciw, PhD, PEng</span></p><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Fabrication Group Manager</span><br></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">   </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Ph: 780-940-7938</span></p><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">  </span></font></span><font color="#000000"><br></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>