<div dir="ltr"><div>Dear Colleagues,</div><div><br></div><div>I'm wondering if you have any suggestions for spin-on primer / adhesion promoter as a substitute for HMDS vapor prime process. </div><div><br></div><div>We used to work with Microchem's MCC Primer 80/20, which is a dilute solution of HMDS in PGMEA, but the company recently discontinued it. We tried several alternatives including making our own version of the solution, but none worked as well. The majority of resists we work with that require priming are Microchem's AZ1500 and AZ12XT-20PL series.</div><div><br></div><div>If you have experience with or know of any similar alternatives that are easily accessible from an U.S. distributor, please let me know.<br clear="all"><div><br></div><div>Thank you,</div>-- <br><div dir="ltr" class="m_7699618694617910426gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">Shu Xiang</div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><div dir="ltr" style="font-size:12.8px">Process Development Engineer / Area Safety Coordinator<br><a href="http://nano3.calit2.net/" target="_blank">Nano3 Cleanroom Facility</a><br>University of California, San Diego</div><div dir="ltr" style="font-size:12.8px"><a href="mailto:shux@ucsd.edu" style="font-size:12.8px;color:rgb(17,85,204)" target="_blank">shux@ucsd.edu</a><span style="font-size:12.8px">  |  </span><a href="tel:(858)%20534-6678" value="+18585346678" style="font-size:12.8px;color:rgb(17,85,204)" target="_blank">(858) 534-6678</a><span style="font-size:12.8px">  |  </span><a href="https://docs.google.com/document/d/e/2PACX-1vSUYE8E-dA0analDfZFtiFa2GbxYP18Jp660wfysyXljcpAIzREdvu-427SXzjRsqfxkfm90_C3_HHM/pub" style="font-size:small" target="_blank">Mailing Address</a></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>