<div dir="auto">Dear Shu,<div dir="auto"><br></div><div dir="auto">You can buy pure HMDS. You can do vapor prime works better than spin.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Have a HMDS compatible container Stainless steel or Teflon or similar with a lid or use Al foil as lid. Pour few ml in the container anywhere so that its just visible you just need little to create vapors. </div><div dir="auto">Load your wafer in a wafer cassette and load the cassette into the container for few mins with lid closed. HMDS should not be inhaled so need a fume hood space for this. You should have your monolayer of HMDS.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">There is Surpass 3000 as well, where wafer needs to immersed and rinsed in DI water later. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">I think vapor HMDS should work fine. You can buy SS containers big enough online that can take your wafer cassette. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Thanks, </div><div dir="auto">Kamal </div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr">On Fri, Mar 29, 2019, 7:51 AM Shu Xiang <<a href="mailto:shux@ucsd.edu">shux@ucsd.edu</a> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div>Dear Colleagues,</div><div><br></div><div>I'm wondering if you have any suggestions for spin-on primer / adhesion promoter as a substitute for HMDS vapor prime process. </div><div><br></div><div>We used to work with Microchem's MCC Primer 80/20, which is a dilute solution of HMDS in PGMEA, but the company recently discontinued it. We tried several alternatives including making our own version of the solution, but none worked as well. The majority of resists we work with that require priming are Microchem's AZ1500 and AZ12XT-20PL series.</div><div><br></div><div>If you have experience with or know of any similar alternatives that are easily accessible from an U.S. distributor, please let me know.<br clear="all"><div><br></div><div>Thank you,</div>-- <br><div dir="ltr" class="m_378770649986602414m_7699618694617910426gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">Shu Xiang</div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr"><div dir="ltr" style="font-size:12.8px">Process Development Engineer / Area Safety Coordinator<br><a href="http://nano3.calit2.net/" target="_blank" rel="noreferrer">Nano3 Cleanroom Facility</a><br>University of California, San Diego</div><div dir="ltr" style="font-size:12.8px"><a href="mailto:shux@ucsd.edu" style="font-size:12.8px;color:rgb(17,85,204)" target="_blank" rel="noreferrer">shux@ucsd.edu</a><span style="font-size:12.8px">  |  </span><a href="tel:(858)%20534-6678" value="+18585346678" style="font-size:12.8px;color:rgb(17,85,204)" target="_blank" rel="noreferrer">(858) 534-6678</a><span style="font-size:12.8px">  |  </span><a href="https://docs.google.com/document/d/e/2PACX-1vSUYE8E-dA0analDfZFtiFa2GbxYP18Jp660wfysyXljcpAIzREdvu-427SXzjRsqfxkfm90_C3_HHM/pub" style="font-size:small" target="_blank" rel="noreferrer">Mailing Address</a></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" rel="noreferrer">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>