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<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8">


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<div dir="ltr">Hi Shane,</div>


<div dir="ltr">We have an Oxford PECVD with a TEOS module and first canister we purchased from Air Products in USA and the second time we used Pegasus in UK <a href="http://pegasuschemicals.com/">http://pegasuschemicals.com/</a></div>


<div dir="ltr">Hope this helps,</div>


<div dir="ltr">Fouad Karouta</div>


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On 8 Jun 2019, at 6:20 am, Xin (Shane) Guo <<a href="mailto:sguo18@yorku.ca">sguo18@yorku.ca</a>> wrote:<br>


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Hi Colleagues,</div>


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Does anyone know where to buy stainless steel canisters with control valves to supply DES and TEOS to PECVD? Some vendors sell DES in a bottle which cannot be connected to the PECVD.</div>


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Any feedback is highly appreciated!</div>


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Best</div>


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Shane </div>


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<table cellspacing="0" width="470" cellpadding="0" border="0" style="border-collapse:collapse;color:rgb(51,51,51);font-family:Muli,sans-serif;font-size:13px;letter-spacing:normal">


<tbody>


<tr>


<td valign="top" style="padding:0px 0px 0px 8px;border-left:3px solid rgb(9,134,182);vertical-align:top;border-top-color:rgb(9,134,182);border-right-color:rgb(9,134,182);border-bottom-color:rgb(9,134,182)">


<table cellspacing="0" cellpadding="0" border="0" style="border-collapse:collapse;background-color:transparent;line-height:1.4;font-family:Verdana,Geneva,sans-serif;font-size:11.7px;color:rgb(0,0,1)">


<tbody>


<tr>


<td style="padding:0px"><br>


</td>


</tr>


</tbody>


</table>


</td>


</tr>


</tbody>


</table>


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<div dir="ltr"><span>_______________________________________________</span><br>


<span>labnetwork mailing list</span><br>


<span><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a></span><br>


<span><a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a></span><br>


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