<div dir="ltr"><div>Dear colleagues, </div><div><br></div><div><div>I'm hoping you can offer some advice on the wisdom of allowing substrates coated with a Zn-containing thin film into some of our open-access facility's shared high vacuum systems.</div><div><br></div><div>The material in question is a Ag-Bi-Zn alloy (98.9 at% Ag, 0.1 at% Bi, 1.0 at% Zn), which one of our user groups wants to deposit as a cathode layer for an OLED process.  A 50 nm thick film of this material is being deposited elsewhere (not in our shared equipment).  However, they would like to continue processing this film in our equipment, which includes two vacuum deposition steps (thermal evaporation for organics, then sputtering for the anode layer, patterned via lift-off).  Both of these deposition processes nominally have the substrate at room temperature, although there is no active substrate cooling to offset heating from the process itself.  The maximum exposed area of the Ag-Bi-Zn would be ~20 cm² (i.e., equivalent of a quarter of a 4" wafer).</div><div><br></div><div>I understand that due to its high vapour pressure, having metallic Zn is generally a bad idea in shared systems if you want Zn-free films thereafter, but I wanted to discuss how likely we'd be to see Zn contamination in either the organics evaporator or the sputtering tool, given the relatively low (?) total volume of exposed Zn that would be involved.  I am mostly concerned about the organics evaporator, as the Ag-Bi-Zn film would be exposed to high vacuum; in the sputtering tool, the Ag-Bi-Zn would already be coated by several layers of organics.</div><div><br></div><div>Could contamination risk be mitigated by copious foiling/shielding of the chamber?  Does anyone have any recommendations for a (non-destructive) test that could be done to determine the extent of Zn contamination during the organics evaporation step?  Any advice would be greatly appreciated.  Many thanks.</div><div><br></div><div>Cheers, </div><div><br></div><div> – Aaron</div><br class="gmail-Apple-interchange-newline"></div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><u style="font-size:x-small">  </u><span style="font-size:x-small">                                           </span><br></div><div><span style="font-size:12.8000001907349px"><font size="1"><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Aaron Hryciw, PhD, PEng</span></p><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Fabrication Group Manager</span><br></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">   </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Ph: 780-940-7938</span></p><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">  </span></font></span><font color="#000000"><br></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>