<html>
<head>
<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">
<style type="text/css" style="display:none;"><!-- P {margin-top:0;margin-bottom:0;} --></style>
</head>
<body dir="ltr">
<div id="divtagdefaultwrapper" style="font-size:12pt;color:#000000;font-family:Calibri,Helvetica,sans-serif;" dir="ltr">
<p style="margin-top:0;margin-bottom:0"><br>
</p>
<p style="margin-top:0;margin-bottom:0"><br>
</p>
<div id="Signature">
<div></div>
<div id="divtagdefaultwrapper" style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif,"EmojiFont","Apple Color Emoji","Segoe UI Emoji",NotoColorEmoji,"Segoe UI Symbol","Android Emoji",EmojiSymbols; font-size: 12pt; background-color: rgb(255, 255, 255);" dir="ltr">
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Times New Roman"></font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri">Mark Hofheins</font></span></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<a id="LPNoLP" href="mailto:mhofheins@unm.edu"><span style="color:rgb(5,99,193); font-size:12pt"><font face="Calibri">mhofheins@unm.edu</font></span></a></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri">Cell  505-710-3527</font></span></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<font face="Calibri">Office 505-272-7155</font></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri"> <span id="ms-rterangepaste-start"></span></font></span></p>
<font face="Calibri">
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px">Micro Electronics Technician<font face="Calibri"> </font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">Manufacturing Engineering</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">University of New Mexico MTTC</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">800 Bradbury S.E.  Suit 169</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">Albuquerque, New Mexico</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">87106-4346</font></p>
<span id="ms-rterangepaste-end"></span></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<br>
</p>
</div>
</div>
<br>
<br>
<div style="color: rgb(0, 0, 0);">
<hr tabindex="-1" style="display:inline-block;width:98%">
<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font color="#000000" face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt"><b>From:</b> Mark Hofheins <mhofheins@unm.edu><br>
<b>Sent:</b> Friday, July 19, 2019 7:03 AM<br>
<b>To:</b> labnetwork-bounces@mtl.mit.edu <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu><br>
<b>Cc:</b> Matthias Pleil <mpleil@unm.edu><br>
<b>Subject:</b> Sputtering HfO2</font>
<div> </div>
</div>
<div dir="ltr">
<div id="x_divtagdefaultwrapper" style="font-size:12pt; color:#000000; font-family:Calibri,Helvetica,sans-serif" dir="ltr">
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">Good morning everyone,</p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">I have a researcher who wants to sputter SiO2, Ta205, and HfO2.</p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">I do not have knowledge of sputtering HfO2. </p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">My concerns are safety and contamination.</p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">I welcome any and all advice, cautions and other peoples experience with this material.</p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">I am very hesitant and wary of anything with Hf.</p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0">Best regards, </p>
<p style="margin-top:0; margin-bottom:0"><br>
</p>
<div id="x_Signature">
<div></div>
<div id="x_divtagdefaultwrapper" style="color:rgb(0,0,0); font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif,"EmojiFont","Apple Color Emoji","Segoe UI Emoji",NotoColorEmoji,"Segoe UI Symbol","Android Emoji",EmojiSymbols; font-size:12pt; background-color:rgb(255,255,255)" dir="ltr">
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Times New Roman"></font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri">Mark Hofheins</font></span></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<a id="LPNoLP" href="mailto:mhofheins@unm.edu"><span style="color:rgb(5,99,193); font-size:12pt"><font face="Calibri">mhofheins@unm.edu</font></span></a></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri">Cell  505-710-3527</font></span></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<font face="Calibri">Office 505-272-7155</font></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<span style="color:black; font-size:12pt"><font face="Calibri"> <span id="x_ms-rterangepaste-start"></span></font></span></p>
<font face="Calibri">
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px">Micro Electronics Technician<font face="Calibri"> </font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">Manufacturing Engineering</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">University of New Mexico MTTC</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">800 Bradbury S.E.  Suit 169</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">Albuquerque, New Mexico</font></p>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"><font face="Calibri">87106-4346</font></p>
<span id="x_ms-rterangepaste-end"></span></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px"></p>
<font face="Times New Roman"></font>
<p style="margin-top:0px; margin-bottom:0px; background:white; margin:0in 0in 8pt; line-height:normal">
<br>
</p>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</body>
</html>