<div dir="ltr">Hello, <div><br></div><div>We are looking to add a process for depositing ~ 0.5 micron dielectric layers using a BPSG process for LPCVD with TEOS and organo-metallic precursors instead of diborane or phosphine.  Does anyone have a similar process set up?  Even if you use a PECVD process, but with organo-metallics, we would like to talk to you about your sources for the OM's.  </div><div><br></div><div>Alterantively, if anyone has a good process set-up, we may do some outsourcing as we get our process flow up to speed.  </div><div><br></div><div>Bill Kiether</div><div>NCSU Photonic Lab Manager</div><div><a href="mailto:wjkiethe@ncsu.edu">wjkiethe@ncsu.edu</a></div><div><br></div><div><br></div></div>