<div dir="ltr">Hello, <div><br></div><div>We are looking to add capability to our oxidation furnaces, and have been advised to use NO (nitric oxide) for SiC oxidation and post-oxidation anneal steps. Doe anyone use NO in their labs for this process?  What are the typical concentrations you have been using (usually with N2 as the carrier gas)?  What type of new safety protocols/equipment did you add for the use with NO? </div><div><br></div><div>Bill Kiether</div><div>NCSU Nanofabrication Facility</div></div>