<div dir="ltr"><div>Our F-based gases have not seen the use the original manger thought would happen and the tanks that were obtained at the start were size 300, far too big for the actual user base (up to 10 years old). We have not noticed a change in the processing, for me it has been an issue that we have spent more money on bottle rental than the gas is worth.</div><div><br></div><div>Chito Kendrick<br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Wed, Oct 9, 2019 at 9:05 AM Cenk Yanik (Alumni) <<a href="mailto:cenkyanik@sabanciuniv.edu">cenkyanik@sabanciuniv.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div>Dear All,</div><div>We are wondering how often do you change the RIE process gases even the gases are not run out. We have been told that they should be changed in max 3 years even if they are almost full but we have been using some of them (SF6, C4F8, CHF3)  for 5 years and we didn't realize any process-related critical problems during the dry etching process.</div><div>Have you ever faced with any problems for Fluorine and Chlorine based gases in your institutes?</div><div>We would appreciate if you could share your experiences and regulations considering the shell life of the process gases at your facilities</div><div>Best Regards,</div><div><br></div><div>-- <br><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><br><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Cenk YANIK, PhD<i><br></i></span></div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Nanofabrication Team Leader</span><br><span></span><br><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Sabanci University <br>Nanotechnology Research and Application Center ( SUNUM )<br>Orta Mahalle, Üniversite Caddesi No: 27 34956 Tuzla - İstanbul<br>Office:</span><span><span style="font-family:tahoma,sans-serif">+90 216 483 9994<br>web:</span> </span><a href="http://sunum.sabanciuniv.edu" target="_blank">sunum.sabanciuniv.edu</a><span></span><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><br>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><span><font color="#888888"><a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/" target="_blank">Chito
        Kendrick Ph.D.</a><br>
      <br>Managing Director of the Microfabrication Facility<br>
      Research Assistant Professor<br>
      Electrical and Computer Engineering<br>
      Michigan Technological University<br>
      Room 436 M&M Building<br>
      1400 Townsend Dr.<br>
      Houghton, Michigan 49931-1295<br>
      <br>
      <a href="tel:814-308-4255" value="+18143084255" target="_blank">814-308-4255</a></font></span></div></div></div></div>