<div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Dear Richard,</div><div>Thank you for the information.</div><div>We follow the same procedure as you mentioned: " keeping them on a scale" and order the new one when the weight drops under the threshold value but for some of them it takes a few years depending on the usage.<br></div><div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">Morrison, Richard H., Jr <<a href="mailto:rmorrison@draper.com">rmorrison@draper.com</a>>, 9 Eki 2019 Çar, 16:08 tarihinde şunu yazdı:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-US">
<div class="gmail-m_-5783810930901620595WordSection1">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)">Hi,<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)">Here at Draper we only change the gases when they are “empty”, by that I mean we set a bottom limit for liquids by keeping them on a scale. For true gases we send the bottle back empty if we can. Some time there is just not enough gas left in the bottle to finish a day so we would change it early.<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)">We keep a log of all weights and pressures so we can monitor and try to estimate when it would need to be changed so that we have a spare on hand.<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)">Rick<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Richard H. Morrison<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Principal Member of the Technical Staff<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Draper<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">555 Technology Square<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Cambridge, MA<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">02139-3573<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Work  617-258-3420<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">Cell  508-930-3461<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><a href="http://www.draper.com" target="_blank"><span style="color:rgb(5,99,193)">www.draper.com</span></a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif;color:rgb(31,73,125)"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif">From:</span></b><span style="font-size:11pt;font-family:"Calibri",sans-serif"> <a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a> [mailto:<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>] <b>On Behalf Of </b>Cenk Yanik (Alumni)<br>
<b>Sent:</b> Wednesday, October 09, 2019 2:59 AM<br>
<b>To:</b> <a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] RIE Process Gases<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<div>
<div>
<p class="MsoNormal">Dear All,<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">We are wondering how often do you change the RIE process gases even the gases are not run out. We have been told that they should be changed in max 3 years even if they are almost full but we have been using some of them (SF6, C4F8, CHF3)  for 5 years and we didn't realize any process-related critical problems during the dry etching process.<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Have you ever faced with any problems for Fluorine and Chlorine based gases in your institutes?<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">We would appreciate if you could share your experiences and regulations considering the shell life of the process gases at your facilities<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">Best Regards,<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">-- <u></u><u></u></p>
<div>
<div>
<div>
<div>
<div>
<div>
<div>
<p class="MsoNormal"><br>
<span style="font-family:"Tahoma",sans-serif">Cenk YANIK, PhD</span><u></u><u></u></p>
</div>
<p class="MsoNormal" style="margin-bottom:12pt"><span style="font-family:"Tahoma",sans-serif">Nanofabrication Team Leader</span><u></u><u></u></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Tahoma",sans-serif">Sabanci University <br>Nanotechnology Research and Application Center ( SUNUM )<br>Orta Mahalle, Üniversite Caddesi No: 27 34956 Tuzla - İstanbul<br>Office:+90 216 483 9994<br>web:</span> <a href="http://sunum.sabanciuniv.edu" target="_blank">sunum.sabanciuniv.edu</a><u></u><u></u></p>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
<hr> Notice: This email and any attachments may contain proprietary (Draper non-public) and/or export-controlled information of Draper. If you are not the intended recipient of this email, please immediately notify the sender by replying to this email and immediately destroy all copies of this email. <hr>
</div>

</blockquote></div><br clear="all"><br>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><br><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Cenk YANIK, PhD<i><br></i></span></div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Nanofabrication Team Leader</span><br><span></span><br><div><span style="font-family:tahoma,sans-serif">Sabanci University <br>Nanotechnology Research and Application Center ( SUNUM )<br>Orta Mahalle, Üniversite Caddesi No: 27 34956 Tuzla - İstanbul<br>Office:</span><span><span style="font-family:tahoma,sans-serif">+90 216 483 9994<br>web:</span> </span><a href="http://sunum.sabanciuniv.edu" target="_blank">sunum.sabanciuniv.edu</a><span></span><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>