
<html><head></head><body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; -webkit-line-break: after-white-space; color: rgb(0, 0, 0); font-size: 14px; font-family: Calibri, sans-serif;"><div>Hi Folks,</div><div>We are having trouble with initial power-up of an older model PlasmaTherm etch system, SLR–770 ICP.</div><div>We have the OEM disconnect with EMO circuit transformer and relay to energize the main power contactor. We have the contractor schematic and our electrician was following that wiring, but electrical enclosure connection terminals could be in question. EMO and enclosure switch are closed but EMO circuit is open.</div><div>Is there anyone familiar with this system and circuit and willing to discuss the problem by phone or off-line email?</div><div><br></div><div>I’m also looking for schematics on this system that might include the EMO circuit. PlasmaTherm responded that they have “lost” those for this vintage of system. They did have drawing 300080219 for a modified version but it did not use the EMO circuit through the disconnect and isn’t any help.</div><div>I think documents for S/N range of ~ 4500 to 6900 would likely be closest match to our system.</div><div>Thanks,</div><div>Steve Pritchett</div><div>Sr Process Eng.</div><div>801-859-8670</div><div><a href="https://www.nanofab.utah.edu/">https://www.nanofab.utah.edu</a></div></body></html>