<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066">Dear Xin Guo,</div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066">in my previous workplace, we used to have a separate point of use (POU) abatement systems for PECVD (Burn box at 800 C) and RIE-Fl (NaOH scrubber). </div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066">Looks like you are not using most of the toxic gases in PECVD (Ex. Silane, Diborane, Hydrogen, phosphine...). If you want to use them, it may be a good idea to have a separate POU scrubber for PECVD and the exhaust of the burn-box/dry scrubber you can merge with the central dry exhaust. </div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066">Thanks & best regards,</div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066">Vamsi</div><div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;color:#000066"> </div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Wed, Nov 6, 2019 at 10:49 AM Xin (Shane) Guo <<a href="mailto:sguo18@yorku.ca">sguo18@yorku.ca</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div>
<div dir="ltr">
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
Hi Colleagues,<br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
<br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
We are trying to set up a dual chamber PECVD-RIE system. Our internal team has concerns of mixed fumes sharing the same exhaust. The gases involve NH3(in a gas cabinet), N2, O2, Ar, He, SF6, CHF3, CF4, TEOS and DES (vapor draw), though it should be only traces
 of the waste gases going into the exhaust. <br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
<br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
Can you share what your practice is in your facility? Do you use separate exhaust for different groups of gases? What is the best place to find the guideline or regulation of such thing? </div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
<br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
Best</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
<br>
</div>
<div class="gmail_default" style="font-family:verdana,sans-serif;font-size:small">
Shane</div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><font style="font-family:verdana,sans-serif;color:rgb(0,0,102)" size="2"><span style="color:rgb(102,102,102)"><br></span></font><p class="MsoNormal"><span style="color:black">___________________________________________________<u></u><u></u></span></p><p class="MsoNormal"><span style="color:black">N.P.  Vamsi Krishna, PhD</span><u></u></p><p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(32,31,30);font-family:Arial,sans-serif;font-size:13.3333px">Postdoctoral Fellow</span></p><p style="margin:0in 0in 0.0001pt;font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif;color:rgb(32,31,30)"><span style="margin:0px;padding:0px;border:0px;font-style:inherit;font-variant:inherit;font-weight:inherit;font-stretch:inherit;font-size:10pt;line-height:inherit;font-family:Arial,sans-serif;vertical-align:baseline;color:maroon;background-image:initial;background-position:initial;background-repeat:initial">Pritzker School of Molecular Engineering, </span><span style="margin:0px;padding:0px;border:0px;font-variant:inherit;font-stretch:inherit;font-size:10pt;line-height:inherit;font-family:Arial,sans-serif;vertical-align:baseline;color:black"><i><b>The University of Chicago </b></i></span></p><p style="margin:0in 0in 0.0001pt;font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif;color:rgb(32,31,30)"><span style="margin:0px;padding:0px;border:0px;font-style:inherit;font-variant:inherit;font-weight:inherit;font-stretch:inherit;font-size:10pt;line-height:inherit;font-family:Arial,sans-serif;vertical-align:baseline;color:black"><span style="color:rgb(128,0,0);font-size:13.3333px">Center for Nanoscale Materials, </span></span><b style="font-size:13.3333px;color:black;font-family:Arial,sans-serif"><i>Argonne National Laboratory </i></b></p><p style="margin:0in 0in 0.0001pt;color:rgb(32,31,30)"><font face="Arial, sans-serif"><span style="font-size:13.3333px">Phone: 1 (331) 757-8565</span></font></p></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>