<div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>We found that we don't have blistering problem with ZEP or PMMA if we have PMGI underneath.</div><div>Below is the picture of 5 samples we put in for ebeam evaporation (Ti/Au 5nm/50nm) Ti deposition rate is at 0.5A/s and Au deposition rate is at 0.5A/s for first 5nm and then ramp to 1A/s for the rest.</div><div><br></div><div>Sample1: Si sample with 250nm SF6(PMGI) and 300nm ZEP and ebeam pattern --> smooth surface after evaporation</div><div>Sample2: Si sample with no resist --> smooth surface after evaporation</div><div>Sample3: glass slide --> smooth surface after evaporation.</div><div>Sample4: Si sample with 300nm ZEP (no ebeam pattern) --> blistering problem</div><div>Sample5: Si sample with 300nm PMMA (no ebeam pattern) --> blistering problem</div><div><br></div><div>We are using SF6 as liftoff resist anyway, so it is just an added bonus that it solve the problem with ebeam resist blistering problem, but we don't understand why it helps, does anyone have some explanation for that?</div><div><br></div><div>Thanks.</div><div><br></div><div>Edmond</div><div><p style="margin-right:0in;margin-left:0in;font-size:12pt;font-family:"Times New Roman",serif"><span style="font-size:10pt;font-family:Arial,sans-serif;color:rgb(31,73,125)">Micro
and NanoTechnology Lab (MNTL)</span></p>

<p style="margin-right:0in;margin-left:0in;font-size:12pt;font-family:"Times New Roman",serif"><span style="font-size:10pt;font-family:Arial,sans-serif;color:rgb(237,125,49)">Rm
2300</span><span style="font-size:10pt;font-family:Arial,sans-serif;color:rgb(31,73,125)"> Micro and Nanotechnology Lab, MC-249</span></p>

<p style="margin-right:0in;margin-left:0in;font-size:12pt;font-family:"Times New Roman",serif"><span style="font-size:10pt;font-family:Arial,sans-serif;color:rgb(31,73,125)">208
North Wright St.</span></p>

<p style="margin-right:0in;margin-left:0in;font-size:12pt;font-family:"Times New Roman",serif"><span style="font-size:10pt;font-family:Arial,sans-serif;color:rgb(31,73,125)">Urbana,
IL 61801</span></p></div><div><br></div><div><br></div><div><div><img src="cid:ii_k3epkk6a0" alt="image.png" width="585" height="275" style="margin-right: 0px;"><br></div></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Apr 6, 2017 at 3:52 PM Shivakumar Bhaskaran <<a href="mailto:bshiva@stanford.edu">bshiva@stanford.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-US">
<div class="gmail-m_-8825625719283708278WordSection1">
<p class="MsoNormal"><a name="m_-8825625719283708278__MailEndCompose"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">Yes,</span></a><span><span style="font-family:"Times New Roman",serif"> higher deposition rate helped in reducing the blisters
 or completely gone. However, some users want to do at a low deposition rate. Sometimes we start at low rate and change to a higher rate.<u></u><u></u></span></span></p>
<p class="MsoNormal"><span><span style="font-family:"Times New Roman",serif"><u></u> <u></u></span></span></p>
<p class="MsoNormal"><span><span style="font-family:"Times New Roman",serif">-thanks<u></u><u></u></span></span></p>
<p class="MsoNormal"><span><span style="font-family:"Times New Roman",serif">-Shiva<u></u><u></u></span></span></p>
<p class="MsoNormal"><span><span style="font-family:"Times New Roman",serif"><u></u> <u></u></span></span></p>
<span></span>
<div>
<div style="border-right:none;border-bottom:none;border-left:none;border-top:1pt solid rgb(225,225,225);padding:3pt 0in 0in">
<p class="MsoNormal"><b>From:</b> Mark Giulio Chiappa [mailto:<a href="mailto:mark.chiappa@ntnu.no" target="_blank">mark.chiappa@ntnu.no</a>]
<br>
<b>Sent:</b> Thursday, April 6, 2017 10:37 AM<br>
<b>To:</b> Price, Aimee <<a href="mailto:price.798@osu.edu" target="_blank">price.798@osu.edu</a>><br>
<b>Cc:</b> Shivakumar Bhaskaran <<a href="mailto:bshiva@stanford.edu" target="_blank">bshiva@stanford.edu</a>>; LabNet (<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a>) <<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a>><br>
<b>Subject:</b> Re: [labnetwork] Blisters on PMMA resists<u></u><u></u></p>
</div>
</div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<div>
<p class="MsoNormal">Hi Shiva,<span style="font-size:12pt"><u></u><u></u></span></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal">I agree it's probably a thermal issue. When we had the same issue we experimented with PMMA from different batches, baking times and temps as well as thermally conductive mounts (mung etc) to no avail. Interestingly we solved the issue
 by increasing the deposition rate. <u></u><u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal">So it seems there is no definite answer I suppose it is dependant in the distance between source an substrate. I don't remember how much we experimented with wait times but that sounds like a good idea. <u></u><u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal">Kind regards<u></u><u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal">Mark. <u></u><u></u></p>
</div>
<div id="gmail-m_-8825625719283708278AppleMailSignature">
<p class="MsoNormal"><br>
Sent from my iPhone<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal" style="margin-bottom:12pt"><br>
On 6 Apr 2017, at 18:23, Price, Aimee <<a href="mailto:price.798@osu.edu" target="_blank">price.798@osu.edu</a>> wrote:<u></u><u></u></p>
</div>
<blockquote style="margin-top:5pt;margin-bottom:5pt">
<div>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Hi Shiva,</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">I believe we’ve had a thread on this subject in the last year or so.  Can someone remind me how to find the old/archived threads (or do we just look in our email history)?</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Past that, we have had this several different times on a couple different evaporators, almost always with Ti/Au or Ni/Au …  Assuming we’ve baked the PMMA sufficiently it appears to be heating, though we’ve tried
 thermal dots alongside and not found very high temps.  Our solution has been to slow the deposition rate and put a “wait” step in during thick Au, Ni, sometimes Pt steps.  The rate we use is 1-2A/s in most cases and the wait times vary but are usually halfway
 through the Au step.  </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Lastly, we have a lot of people working with piezoelectric materials and this happens sometimes with those.  That’s a separate topic.  I’m assuming you are working with more “standard” semiconductor substrates
 and the issue is caused by the metal/PMMA not the substrate itself?</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Feel free to reach out to me off-line at
<a href="mailto:price.798@osu.edu" target="_blank">price.798@osu.edu</a> if you want more details.  We did a lot of work with this at two different times, about 3 years ago and 10 years ago.  We even had students travel back to UlUC to use their evaporator when we were diagnosing
 this issue the first time.</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Best of luck.</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)">Aimee</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:rgb(31,73,125)"> </span><u></u><u></u></p>
<div>
<div style="border-right:none;border-bottom:none;border-left:none;border-top:1pt solid rgb(181,196,223);padding:3pt 0in 0in">
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:10pt;font-family:Tahoma,sans-serif">From:</span></b><span style="font-size:10pt;font-family:Tahoma,sans-serif">
<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a> [<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu" target="_blank">mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>]
<b>On Behalf Of </b>Shivakumar Bhaskaran<br>
<b>Sent:</b> Wednesday, April 05, 2017 10:03 PM<br>
<b>To:</b> LabNet (<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a>)<br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] Blisters on PMMA resists</span><u></u><u></u></p>
</div>
</div>
<p class="MsoNormal"> <u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">Hi All,</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">We are getting blisters or metal film peeling off when depositing metals (Ti/Au/Al) on PMMA resists using EBeam Evaporation.</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">Did anyone had this issue in your EBeam Evaporation tool. If so how did you fix this?</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">-thanks</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">-Shiva</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif"> </span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-family:"Times New Roman",serif">SNSF</span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:10pt;font-family:"Times New Roman",serif;color:rgb(68,114,196)"><a href="http://snsf.stanford.edu/" target="_blank">http://snsf.stanford.edu/</a></span><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"> <u></u><u></u></p>
</div>
</blockquote>
<blockquote style="margin-top:5pt;margin-bottom:5pt">
<div>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:"Times New Roman",serif">_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><u></u><u></u></span></p>
</div>
</blockquote>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature">Edmond Chow</div></div>