<div dir="ltr">Hello Bob,<div>The Lurie Nanofabrication Facility offers this capability. We can take 200mm wafers and samples up to 15 mm tall !!!. In fact, we just did electroplating on TiN ALD samples and worked great. </div><div>We can talk more if you want,</div><div>Best,</div><div><br></div><div>Pilar</div><div><br></div><div>(734 646 1399)</div><div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Dec 12, 2019 at 4:11 PM Bob Henderson <<a href="mailto:bob.henderson@etchedintimeinc.com">bob.henderson@etchedintimeinc.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div lang="EN-US"><div class="gmail-m_1181282959642904528WordSection1"><p class="MsoNormal">Does anyone offer ALD deposition within their operation. We have a group that would like to deposit 20 nm of TiN on Au. These could be on 200mm silicon wafers or 2.5” square substrate on silicon as well. Please contact me if you are interested. Bob Henderson<u></u><u></u></p></div></div>_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><font style="background-color:rgb(255,255,255)"><font face="tahoma, sans-serif" color="#0000ff" size="2">Pilar Herrera-Fierro, Ph.D.<br>LNF User Services Director<br>Lurie Nanofabrication Facility<br>University of Michigan</font><br></font><br>RM 1239 EECS Building<br>1301 Beal Ave.<br>Ann Arbor, MI 48109-2122<br><br><b>Cell</b> 734 646 1399<br><br>(734) 646 1399<div><br></div><div><a href="http://www.lnf.umich.edu" target="_blank">www.lnf.umich.edu</a></div><div><br><br><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>