<div dir="ltr">Dear All,<div>We are experiencing a strange fault with our savannah ALD. </div><div>It was hard to catch but, when the Lab View GUI crashes or friezes (this happens every once in a while and the system is in Idle mode), it just sets the Nitrogen purge MFC to the max open position and empties the N2 cylinder unless we are fast to respond.</div><div>Did any of you had such a problem? If so, what was the solution?</div><div><br></div><div>-- <br></div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr">Thanks and Best Regards,<div>Youry Borisenkov</div><div><div style="color:rgb(136,136,136)"><font size="2" face="arial, sans-serif">Cleanroom Process Engineer</font></div><div style="color:rgb(136,136,136)"><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">Columbia University</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">530 W 120th Street Room 1017</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">New York, NY 10027</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394"><a href="http://cni.columbia.edu/columbia-university-clean-room" target="_blank"><b>Columbia Nano Initiative | Cleanroom</b></a></font></div></div></div></div></div></div></div>