<div dir="ltr">Dear Youry,<div><br></div><div>I'm one of the original folks from Cambridge Nanotech.  I (along with the rest of the Cambridge NanoTech ALD group) am/arewith Veeco and we are still supporting these tools.</div><div><br>We haven't seen the situation you describe (with the MFC failing open) with over 400 installed Savannahs.  Indeed the safety concepts for the system are supposed to prevent this.  A few years back I recall that Columbia had their MFC reworked/refurbished via a third party. I'm wondering if this is the root cause of the situation that you describe - there is some subtle differences between the vent/fast-vent of the MFCs.</div><div><br></div><div>Please feel free to contact me directly at <a href="mailto:edeguns@veeco.com">edeguns@veeco.com</a> or my colleagues at <a href="mailto:ALDsupport@veeco.com">ALDsupport@veeco.com</a> and we can try and help you as best we can.</div><div><br></div><div>Many thanks in advance,</div><div><br></div><div>Eric</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Jan 27, 2020 at 8:08 PM Youry Borisenkov <<a href="mailto:yb2471@columbia.edu" target="_blank">yb2471@columbia.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr">Dear All,<div>We are experiencing a strange fault with our savannah ALD. </div><div>It was hard to catch but, when the Lab View GUI crashes or friezes (this happens every once in a while and the system is in Idle mode), it just sets the Nitrogen purge MFC to the max open position and empties the N2 cylinder unless we are fast to respond.</div><div>Did any of you had such a problem? If so, what was the solution?</div><div><br></div><div>-- <br></div><div><div dir="ltr"><div dir="ltr">Thanks and Best Regards,<div>Youry Borisenkov</div><div><div style="color:rgb(136,136,136)"><font size="2" face="arial, sans-serif">Cleanroom Process Engineer</font></div><div style="color:rgb(136,136,136)"><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">Columbia University</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">530 W 120th Street Room 1017</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394">New York, NY 10027</font></div><div><font size="2" face="arial, sans-serif" color="#0b5394"><a href="http://cni.columbia.edu/columbia-university-clean-room" target="_blank"><b>Columbia Nano Initiative | Cleanroom</b></a></font></div></div></div></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>