<html xmlns:v="urn:schemas-microsoft-com:vml" xmlns:o="urn:schemas-microsoft-com:office:office" xmlns:w="urn:schemas-microsoft-com:office:word" xmlns:m="http://schemas.microsoft.com/office/2004/12/omml" xmlns="http://www.w3.org/TR/REC-html40">
<head>
<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">
<meta name="Generator" content="Microsoft Word 15 (filtered medium)">
<style><!--
/* Font Definitions */
@font-face
        {font-family:"Cambria Math";
        panose-1:2 4 5 3 5 4 6 3 2 4;}
@font-face
        {font-family:Calibri;
        panose-1:2 15 5 2 2 2 4 3 2 4;}
/* Style Definitions */
p.MsoNormal, li.MsoNormal, div.MsoNormal
        {margin:0in;
        margin-bottom:.0001pt;
        font-size:11.0pt;
        font-family:"Calibri",sans-serif;}
a:link, span.MsoHyperlink
        {mso-style-priority:99;
        color:#0563C1;
        text-decoration:underline;}
a:visited, span.MsoHyperlinkFollowed
        {mso-style-priority:99;
        color:#954F72;
        text-decoration:underline;}
p.msonormal0, li.msonormal0, div.msonormal0
        {mso-style-name:msonormal;
        mso-margin-top-alt:auto;
        margin-right:0in;
        mso-margin-bottom-alt:auto;
        margin-left:0in;
        font-size:12.0pt;
        font-family:"Times New Roman",serif;}
span.EmailStyle18
        {mso-style-type:personal;
        font-family:"Calibri",sans-serif;
        color:windowtext;}
span.EmailStyle19
        {mso-style-type:personal;
        font-family:"Calibri",sans-serif;
        color:#1F497D;}
span.EmailStyle20
        {mso-style-type:personal-reply;
        font-family:"Calibri",sans-serif;
        color:#1F497D;}
.MsoChpDefault
        {mso-style-type:export-only;
        font-size:10.0pt;}
@page WordSection1
        {size:8.5in 11.0in;
        margin:1.0in 1.0in 1.0in 1.0in;}
div.WordSection1
        {page:WordSection1;}
--></style><!--[if gte mso 9]><xml>
<o:shapedefaults v:ext="edit" spidmax="1026" />
</xml><![endif]--><!--[if gte mso 9]><xml>
<o:shapelayout v:ext="edit">
<o:idmap v:ext="edit" data="1" />
</o:shapelayout></xml><![endif]-->
</head>
<body lang="EN-US" link="#0563C1" vlink="#954F72">
<div class="WordSection1">
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Has anyone tried to reload the cylinder with XeF2 cylinders in a glove box?  Or is Pelchem the only supplier of the crystals needed for the Xactix system?<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Cheers!<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Julia Aebersold, Ph.D.<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Manager, Micro/Nano Technology Center<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">University of Louisville<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Shumaker Research Building, Room 233<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">2210 South Brook Street<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Louisville, KY  40292<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">(502) 852-1572<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><a href="http://louisville.edu/micronano/"><span style="color:#0563C1">http://louisville.edu/micronano/</span></a><o:p></o:p></span></p>
</div>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<div>
<div style="border:none;border-top:solid #E1E1E1 1.0pt;padding:3.0pt 0in 0in 0in">
<p class="MsoNormal"><b>From:</b> labnetwork-bounces@mtl.mit.edu [mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu]
<b>On Behalf Of </b>Matthew Moneck<br>
<b>Sent:</b> Tuesday, February 4, 2020 12:43 PM<br>
<b>To:</b> John Nash <jcn8004@rit.edu>; labnetwork@mtl.mit.edu<br>
<b>Subject:</b> Re: [labnetwork] XeF2 supplier?<o:p></o:p></p>
</div>
</div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Hi John,<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">I’m curious if the issue is with the bottle itself.  We ordered XeF2 last summer, but after 8 weeks or so, we had not received the bottle.  We were told by our vendor that there was delay on Pelchem’s side and
 that ship date was to be determined.  We didn’t receive much feedback beyond that.  After waiting another couple weeks, we asked more questions, and found that the issue was the bottle type used on the Xactix tool.  Our tool, and I assume most, use the bottle
 with a right angle valve.  We were told Pelchem was having trouble sourcing those valves and it was not known when a new bottle could be delivered.  After more questions, we found out our vendor was able to provide a bottle with a straight valve in a short
 time frame.  As a result, we ordered the alternative bottle and had a new pigtail fabricated to accommodate the change in orientation.
<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Best Regards,<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><br>
Matt<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">--<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="color:#1F497D">Matthew T. Moneck, Ph.D<o:p></o:p></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Executive Manager, Claire & John Bertucci Nanotechnology Laboratory<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Electrical & Computer Engineering | Carnegie Mellon University<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, PA 15213-3890<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D">Phone:  412-268-5430<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><a href="https://nam03.safelinks.protection.outlook.com/?url=http%3A%2F%2Fwww.ece.cmu.edu%2F&data=02%7C01%7Cjulia.aebersold%40louisville.EDU%7C9da78dffd91e471451f508d7a9caae48%7Cdd246e4a54344e158ae391ad9797b209%7C0%7C0%7C637164560293294088&sdata=vijrPBJlL40ulAioMwjS5meMdo5%2BtJc8zmwKO%2Fs%2Ffbs%3D&reserved=0">ece.cmu.edu</a><span style="color:#1F497D">
<o:p></o:p></span></p>
<p class="MsoNormal"><a href="https://nam03.safelinks.protection.outlook.com/?url=http%3A%2F%2Fwww.nanofab.ece.cmu.edu%2F&data=02%7C01%7Cjulia.aebersold%40louisville.EDU%7C9da78dffd91e471451f508d7a9caae48%7Cdd246e4a54344e158ae391ad9797b209%7C0%7C0%7C637164560293304080&sdata=1dFinQlDRTSHMQDtX96OJG5bZRuI%2FRKTFim4NTY0Py0%3D&reserved=0">nanofab.ece.cmu.edu</a><span style="color:#1F497D">
<o:p></o:p></span></p>
</div>
<p class="MsoNormal"><span style="color:#1F497D"><o:p> </o:p></span></p>
<div>
<div style="border:none;border-top:solid #E1E1E1 1.0pt;padding:3.0pt 0in 0in 0in">
<p class="MsoNormal"><b>From:</b> <a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu">
labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a> <<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>>
<b>On Behalf Of </b>John Nash<br>
<b>Sent:</b> Tuesday, February 4, 2020 8:07 AM<br>
<b>To:</b> <a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] XeF2 supplier?<o:p></o:p></p>
</div>
</div>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">Does anyone know of a reliable supplier of XeF2? We have a Xactics XeF2 system that will be running out soon. I have reached out to Pelchem, Electronic fluorocarbons and Linde over the last 6 months and none are able to help. Thanks in
 advance for all recommendations. <o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">Regards, <o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">John C Nash<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">SMFL - Technician<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Rochester Institute of Technology<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Semiconductor & Microsystems Fabrication Laboratory<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">82 Lomb Memorial Dr. <o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Bldg. 17-2627<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal">Rochester, NY 14623<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal">585 478-3835 cell<o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><a href="mailto:john.nash@rit.edu"><span style="color:blue">john.nash@rit.edu</span></a><o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><a href="https://nam03.safelinks.protection.outlook.com/?url=http%3A%2F%2Fwww.smfl.rit.edu%2F&data=02%7C01%7Cjulia.aebersold%40louisville.EDU%7C9da78dffd91e471451f508d7a9caae48%7Cdd246e4a54344e158ae391ad9797b209%7C0%7C0%7C637164560293314067&sdata=cXCKZLdntZxGtJpu0s5LumQYye%2FmQ3rZN38QNDH0V4k%3D&reserved=0"><span style="color:blue">www.smfl.rit.edu</span></a><o:p></o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
<p class="MsoNormal"><o:p> </o:p></p>
</div>
</body>
</html>