<div dir="ltr">Dear all,<div><br></div><div>Here at Research and Prototype Foundry (Sydney, Australia), users have been using the sputtering system extensively for superconducting materials, i.e. NbTiN and MoRe. I am wondering if it is OK to add an alloy of Si/Al/Cu (0.95/0.025/0.025) to the chamber. Is there any potential contamination for the superconducting materials?</div><div><br></div><div>Any input is appreciated.</div><div><br></div><div>Thanks in advance.</div><div><br></div><div><br></div><div>Gloria</div></div>