<div dir="ltr">  Hi All,<div><br></div><div>Does anyone have any experience with characterizing the thermal uniformity of RTA tools?  I am aware of using instrumented TC wafers, dry thermal oxide, Ti silicidation, and Al-Si eutectic to name a few, but am not so clear on all the advantages and disadvantages, particularly the true sensitivity vs. potential to be misled by results.  Any advice, anecdotes, or words of wisdom would be most appreciated.<br></div><div><br></div><div>For background, we have a couple of Heatpulse 610 units that we operate at the WNF using quartz holders for 100 - 150 mm wafers.  The holders we have make 3 asperity contact points with the wafer, so basically the configuration inside the tube is nominally nothing absorbing besides the wafer being annealed (usually Si) and the thermocouple wire tip (held by spring force against the wafer back), and little thermal interaction between the chamber fixture and the wafer.  Various users employ a broad range of temperatures, though the ones from whom I get the most questions about uniformity operate in the 500-600C range.</div><div><br></div><div>Many thanks!</div><div>Fred<br></div><div><br clear="all"><div></div></div><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica">Fred Newman</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica">Research Engineer</div><div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica"><div style="color:rgb(34,34,34);font-family:Arial,Helvetica,sans-serif">University of Washington, Washington Nanofabrication Facility</div><div style="color:rgb(34,34,34);font-family:Arial,Helvetica,sans-serif">4000 Mason Rd, Fluke Hall Room 115</div><div style="color:rgb(34,34,34);font-family:Arial,Helvetica,sans-serif">Seattle WA 98195-2143</div></div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica">office 206-616-3534  mobile 505-450-4447</div><div style="color:rgb(0,0,0);font-family:Helvetica"><a href="mailto:fnewman@uw.edu" target="_blank">fnewman@uw.edu</a></div><div><font color="#000000" face="Helvetica"><a href="https://www.wnf.washington.edu/" target="_blank">https://www.wnf.washington.edu/</a></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>