<html xmlns="http://www.w3.org/1999/xhtml" xmlns:v="urn:schemas-microsoft-com:vml" xmlns:o="urn:schemas-microsoft-com:office:office"><head><!--[if gte mso 9]><xml><o:OfficeDocumentSettings><o:AllowPNG/><o:PixelsPerInch>96</o:PixelsPerInch></o:OfficeDocumentSettings></xml><![endif]--></head><body>
Paul, thank you for your response, I am familiar with the LED’s used for resist exposure.  FYI, I have been in photolithography 45 years now, 35 independently as Hbtusainc, I am very interested into switching 9 microlithography systems from using Ushio 350 watts short arc lamps to LEDs, 405nm(h-line) and 436nm(g-line) the light sources I use were manufacture by Tamarack many moons ago, they can be reconfigured with the LED upgrade, ir has been done before on these systems .<div><br></div><div>What added info I can give you to look into this at your end.</div><div><br></div><div>Regards <br><br><br><a href="https://yho.com/footer0">Sent from Yahoo Mail for iPhone</a><br><div>Mario Portillo, hbtusainc@yahoo.com</div><br><p class="yahoo-quoted-begin" style="font-size: 15px; color: #715FFA; padding-top: 15px; margin-top: 0">On Monday, February 24, 2020, 8:28 AM, Paul Maciel <paulmaciel@outlook.com> wrote:</p><blockquote class="iosymail"><div id="yiv4202311235"><div>
Hello Mario,<br clear="none">
<br clear="none">
If you looking to learn more about UV LED light sources for resist exposure please take a look at the Idonus SARL web page
<a rel="nofollow" shape="rect" class="yiv4202311235moz-txt-link-rfc2396E" target="_blank" href="https://www.idonus.com/activities/products/mems-products/uv-exposure-system/12-company.html">
<https://www.idonus.com/activities/products/mems-products/uv-exposure-system/12-company.html></a>.<br clear="none">
<br clear="none">
Idonus offers UV LED sources for mask aligner retrofits and stand alone, with or without tooling.<br clear="none">
<br clear="none">
Drop me an email and I'd be glad to help you find a configuration that works best for your application.<br clear="none">
<br clear="none">
Regards,<br clear="none">
---Paul<br clear="none">
<br clear="none">
Paul Maciel<br clear="none">
<a rel="nofollow" shape="rect" class="yiv4202311235moz-txt-link-abbreviated" ymailto="mailto:paulmaciel@outlook.com" target="_blank" href="mailto:paulmaciel@outlook.com">paulmaciel@outlook.com</a><br clear="none">
<br clear="none">
<div class="yiv4202311235moz-cite-prefix">On 2/23/2020 7:37 AM, Mario Portillo wrote:<br clear="none">
</div>
<blockquote type="cite">
I have to say that I was very interested in responding to your first email, as I am looking for ways to eliminate
 the use of mercury arc lamps to LEDs....
<div><br clear="none">
</div>
<div>Anybody out there with the same thought let me know,</div>
<div><br clear="none">
</div>
<div>Regards <br clear="none">
<br clear="none">
<br clear="none">
<a rel="nofollow" shape="rect" target="_blank" href="https://yho.com/footer0">Sent from Yahoo Mail for iPhone</a><br clear="none">
<div>Mario Portillo, <a rel="nofollow" shape="rect" class="yiv4202311235moz-txt-link-abbreviated" ymailto="mailto:hbtusainc@yahoo.com" target="_blank" href="mailto:hbtusainc@yahoo.com">
hbtusainc@yahoo.com</a></div>
<br clear="none">
<p class="yiv4202311235yahoo-quoted-begin" style="font-size:15px;color:#715FFA;padding-top:15px;margin-top:0;">
On Sunday, February 23, 2020, 11:40 AM, <a rel="nofollow" shape="rect" class="yiv4202311235moz-txt-link-abbreviated" ymailto="mailto:martin@algoshift.com" target="_blank" href="mailto:martin@algoshift.com">
martin@algoshift.com</a> wrote:</p>
<blockquote class="yiv4202311235iosymail">
<div dir="ltr">Based on a couple of responses it looks like I did a confusing job of
<br clear="none">
explaining what I am working on.<br clear="none">
<br clear="none">
I am focusing on lights to illuminate the lab, the room, not to cure <br clear="none">
PMMA.  So, yes, this is about lights on the ceiling.<br clear="none">
<br clear="none">
Also, I said "above 500 nm" when I was thinking frequency.  I should <br clear="none">
have said "below 500 nm".  The point is, as I understand it today, the <br clear="none">
goal is to not have much energy in the blue and UV range of emissions.<br clear="none">
<br clear="none">
Sorry for the confusion.<br clear="none">
<br clear="none">
Thanks,<br clear="none">
<br clear="none">
-Martin<br clear="none">
<br clear="none">
---<br clear="none">
<br clear="none">
<br clear="none">
On 2020-02-21 23:55, <a rel="nofollow" shape="rect" ymailto="mailto:martin@algoshift.com" target="_blank" href="mailto:martin@algoshift.com">
martin@algoshift.com</a> wrote:<br clear="none">
> I am currently working on the development of LED-based lights for<br clear="none">
> lithography applications.  I came across this list and was kindly<br clear="none">
> allowed to join.<br clear="none">
> <br clear="none">
> I have a background in high-performance, high accuracy LED-based<br clear="none">
> applications going back some twenty years.  In addition to that I<br clear="none">
> worked in aerospace engineering, robotics and other work I can't talk<br clear="none">
> about (most recently, SpaceX).<br clear="none">
> <br clear="none">
> At this stage in my new mission I am trying to confirm what I have<br clear="none">
> learned in order to start developing a few prototypes for testing.<br clear="none">
> This is what I know and don't know so far:<br clear="none">
> <br clear="none">
> - Energy above 500 nm should be below 0.001%<br clear="none">
> - Operator metamerism doesn't seem to be much of a concern in these<br clear="none">
> environments (?)<br clear="none">
> - Outgassing is not desirable (I don't have any kind of a<br clear="none">
> specification for this)<br clear="none">
> - No specification on acceptable flicker<br clear="none">
> - No specification on required efficiency (Lumen/Watt)<br clear="none">
> - No specification on the amount of light required, either:<br clear="none">
>    - Illuminance (intensity of light on a surface, lux) or,<br clear="none">
>    - Luminance (light energy emitted, lumens)<br clear="none">
> <br clear="none">
> Frankly, there really isn't very much data out there.  It also seems<br clear="none">
> that semiconductor companies keep their lithography illumination<br clear="none">
> requirements somewhat close to the vest.  At least this is what I've<br clear="none">
> come across.  I wonder if this is because these kinds of<br clear="none">
> specifications might reveal process details?  Don't know.<br clear="none">
> <br clear="none">
> The three main trades I have in front of me at the moment for this <br clear="none">
> design are:<br clear="none">
> <br clear="none">
> - White LEDs with carefully selected film or coating-based filter to<br clear="none">
> cut blue + UV<br clear="none">
> - Green and Red LEDs only, no blue; filtration is still needed<br clear="none">
> - A combination of carefully selected white LEDs with low spectral<br clear="none">
> power above 500 nm along with, perhaps, green and red to enhance;<br clear="none">
> filtration still needed<br clear="none">
> <br clear="none">
> To clarify, the Green+Red LED option still requires filtration because<br clear="none">
> green LEDs produce some energy above 500 nm.  If I am to take the<br clear="none">
> 0.001% specification to be true, an optical filter would still be<br clear="none">
> required.<br clear="none">
> <br clear="none">
> White LED's, which, of course, are nothing more than blue LEDs with a<br clear="none">
> phosphor coating are the most readily available high efficiency units<br clear="none">
> in the market.  Frankly, if high light output at the lowest possible<br clear="none">
> cost is a requirement it is hard to beat them with a combination of<br clear="none">
> red and green LEDs.  That said, depending on how they are selected, a<br clear="none">
> significant portion of the spectral power they emit will have to be<br clear="none">
> converted into heat at a filter or bad things will happen in the lab.<br clear="none">
> <br clear="none">
> The third option involves selecting very warm white LEDs that have<br clear="none">
> almost no blue spike.  This means less heating of the filter element<br clear="none">
> and, likely, longer life.  This could be an interesting solution.<br clear="none">
> <br clear="none">
> Plastic film based filters degrade over time, particularly if there's<br clear="none">
> a lot of heating due to having too much energy in the undesirable<br clear="none">
> portion of the spectrum.  This is where thin film deposition<br clear="none">
> (sputtering?) could exhibit far more favorable band-pass<br clear="none">
> characteristics as long a longevity.  Cost, of course, could be an<br clear="none">
> issue.<br clear="none">
> <br clear="none">
> I am very familiar with material out-gassing issues in the context of<br clear="none">
> aerospace applications.  Not so for lab usage.  Understanding where<br clear="none">
> these limits might lie would be very useful.  The perfectionist in me<br clear="none">
> wants to design a T5-class 4 ft LED light fully encased and<br clear="none">
> appropriately sealed in a durable glass tube that is both internally<br clear="none">
> and externally coated to not pass light above 500 nm.  At the same<br clear="none">
> time, I do understand that a real solution has to fit a budget as well<br clear="none">
> as technical specifications.  Not sure where that intersection lies<br clear="none">
> but I am aware of it.<br clear="none">
> <br clear="none">
> I introduced a term above that might not be familiar to everyone here;<br clear="none">
> observer metamerism.  This is a by-product of the spectral power<br clear="none">
> distributions of light, reflection and the human vision system<br clear="none">
> interacting in such a way that two colors that are different might<br clear="none">
> appear the same (or, in general, you have trouble discerning colors<br clear="none">
> that are easy to see under different conditions).  If you've ever<br clear="none">
> tried to determine if a steak is well done under a typical white LED<br clear="none">
> light and could not, that's observer metamerism.  Mitigation requires<br clear="none">
> "filling in" the emitted spectra in areas relevant to the task at<br clear="none">
> hand.<br clear="none">
> <br clear="none">
> This is why I asked myself this question in the red+green LED case.<br clear="none">
> Both of these have narrow emission spectra.  Our brains can function<br clear="none">
> with this kind of light and, yes, we will see it as yellow.  However,<br clear="none">
> any colors in the portion of the visible spectrum lacking energy will<br clear="none">
> become challenging to deal with.  It's like being color blind.  Given<br clear="none">
> that lithography labs are already built to work with yellow light, I<br clear="none">
> find myself wondering how much of a problem, if any, might be posed by<br clear="none">
> observer metamerism in the case of the proposed red+green LED<br clear="none">
> solution.<br clear="none">
> <br clear="none">
> I think that's the basics at this point.  I would appreciate any and<br clear="none">
> all feedback, questions and even a good shove in the right direction.<br clear="none">
> <br clear="none">
> Thank you,<br clear="none">
> <br clear="none">
> Martin Euredjian<br clear="none">
> AlgoShift, LLC<br clear="none">
> Los Angeles, CA<br clear="none">
> 661-305-9320<br clear="none">
> <br clear="none">
> _______________________________________________<br clear="none">
> labnetwork mailing list<br clear="none">
> <a rel="nofollow" shape="rect" ymailto="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">
labnetwork@mtl.mit.edu</a><br clear="none">
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<div class="yiv4202311235yqt9825623082" id="yiv4202311235yqtfd12621"><div class="yiv4202311235yqt0188476470" id="yiv4202311235yqtfd94529"><br clear="none">
<br clear="none">
_______________________________________________<br clear="none">
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</div>
</div></div><div class="yiv4202311235yqt9825623082" id="yiv4202311235yqtfd81202">
</div></blockquote><div class="yiv4202311235yqt9825623082" id="yiv4202311235yqtfd55797">
</div></div><div class="yiv4202311235yqt9825623082" id="yiv4202311235yqtfd97309">
<br clear="none">
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<pre class="yiv4202311235moz-quote-pre">_______________________________________________
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</pre>
</div></blockquote><div class="yiv4202311235yqt9825623082" id="yiv4202311235yqtfd98005">
<br clear="none">
</div></div></div><blockquote></blockquote></blockquote></div>
</body></html>