<div dir="ltr">Hello Chito,<div><br></div><div>I do not have too much experience with Synopsys Sentaurus myself, but I know it is a very popular and powerful TCAD application that is used in a lot of industrial applications. That being said, I think it can be a bit confusing to get started with. Silvaco Athena is another TCAD application I have used in past coursework at Rochester Institute of Technology that is more user friendly and I believe has cheaper licensing. It maintains the capability to do physics-based simulations of oxidation, diffusion, etc and the final 2D device geometry can be exported into their Atlas simulator to do electrical simulations. One of the professors in Microelectronic Engineering there might be a good reference on using it in coursework. If you are merely looking for a tool to visualize 2D cross-sections for an example process, you could look at the XSection add-on for Klayout, which would be a completely free option.This tool allows you to take a GDS, assign materials/processing to each mask layer, and then drag a 2D cutline across the top view of your mask at various points but is visual only and does not have physics simulation.</div><div><br></div><div>Hope that helps.</div><div><br></div><div>Jackson</div><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><b><i>Jackson Anderson</i></b><div><i>Graduate Research Assistant</i></div><div><i>Electrical and Computer Engineering</i></div><div><i><a href="mailto:ander906@purdue.edu" target="_blank">ander906@purdue.edu</a></i></div><div><i><a href="https://engineering.purdue.edu/hybridmems/" target="_blank">https://engineering.purdue.edu/hybridmems/</a></i><br></div><div><br></div></div></div></div></div></div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, May 11, 2020 at 9:33 PM Chito Kendrick <<a href="mailto:cekendri@mtu.edu">cekendri@mtu.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">I hope all are well and keeping safe.<div><br></div><div>As it looks more and more likely our fall semester is going to be online or a hybrid and therefore how I teach my lab based microfabrication course is going to have to change.</div><div><br></div><div>I ended up recording videos on my processing for the last 3 weeks of the spring semester and will likely do that for the rest of the process (first 11 weeks) once I can get into the facility again. However, ZOOM, vidoes, powerpoints, animations are not going to get students the full hands-on feel for doing processing in a cleanroom and nothing really does. </div><div><br></div><div>I did find a virtual fab created by KAUST - <a href="https://fablab.kaust.edu.sa" target="_blank">https://fablab.kaust.edu.sa</a> - and they do have some tools that are the same as in my fab (EVG mask aligner). This allows the students to interact with the system - they use it for training from what I have seen. Does anyone else know if other facilities have produced a similar virtual experience?  </div><div><br></div><div>I am also looking for a processing software that allows a user to see a 2D/3D section of a wafer and do oxidation/etching/deposition on the wafer and see the cross section change after each process step. I was looking at the <a href="https://www.synopsys.com/silicon.html" target="_blank">https://www.synopsys.com/silicon.html</a>, but without a copy I have not been able to see if it does what I want. Not sure if anyone has had experience with this software? about to go check out Youtube.</div><div><br></div><div>Regards,</div><div><br></div><div>Chito Kendrick<br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><span><font color="#888888"><a href="https://sites.google.com/site/chitokendrickphd/" target="_blank">Chito
        Kendrick Ph.D.</a><br>
      <br>Managing Director of the Microfabrication Facility<br>
      Research Assistant Professor<br>
      Electrical and Computer Engineering<br>
      Michigan Technological University<br>
      Room 436 M&M Building<br>
      1400 Townsend Dr.<br>
      Houghton, Michigan 49931-1295<br>
      <br>
      <a href="tel:814-308-4255" value="+18143084255" target="_blank">814-308-4255</a></font></span></div></div></div></div></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>