<div dir="ltr"><div>Dear colleagues,<br><br>One of the users in our open-access facility recently expressed concern about x-ray production in electron-beam evaporation systems.  Since the typical acceleration voltage in our e-beam systems is 7–10 kV, he was concerned that bremsstrahlung and characteristic x-rays would be generated during deposition, with a maximum energy of 7–10 keV (soft to hard x-rays), and that these x-rays would pose a health and safety hazard to an operator standing next to the viewport for ~30 minutes.<br><br>A literature search yielded a few reports describing radiation damage to sensitive devices from x-rays produced during an e-beam metallization step, but I did not find any mention of related health and safety considerations.  While some x-rays are undoubtedly produced, presumably there are reasons why they are not hazardous to an operator (e.g., perhaps total x-ray output is very small, majority of x-ray spectrum is low energy, x-rays do not penetrate stainless steel chamber walls or viewport windows, etc.).  I would like to answer this user with specific physical arguments as to why the hazard is insignificant, however, so any advice you could offer to this end would be greatly appreciated.  Many thanks.<br><br>Cheers, <br><br> – Aaron<br></div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><u style="font-size:x-small">  </u><span style="font-size:x-small">                                           </span><br></div><div><span style="font-size:12.8000001907349px"><font size="1"><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Aaron Hryciw, PhD, PEng</span></p><p style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="color:rgb(0,0,0);font-family:Arial;white-space:pre-wrap;line-height:1.38;background-color:transparent">Fabrication Group Manager</span><br></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">University of Alberta - nanoFAB</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">W1-060 ECERF Building</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">9107 - 116 Street</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Edmonton, Alberta</span></p><p dir="ltr" style="line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt"><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Canada T6G 2V4 </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">     </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">                </span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">Ph: 780-940-7938</span></p><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent"><a href="http://www.nanofab.ualberta.ca/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">www.nanofab.ualberta.ca</a></span><span style="font-family:Arial;color:rgb(0,0,0);vertical-align:baseline;white-space:pre-wrap;background-color:transparent">  </span></font></span><font color="#000000"><br></font><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>