<div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-size:small">I have the same question.  I don't know if there are compatibility problems with other elements (mostly are metals in our sputter system).  Does it cause hard-to-clean contaminations to the chamber, like small flakes, or problems to the vacuum quality of the chamber? Does it have special handling requirements? Any advice is greatly appreciated. Thanks and s<span class="gmail_default">tay healthy.</span><br></div><div class="gmail_default" style="font-size:small"><span class="gmail_default"><br></span></div><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><br></div><div dir="ltr"><span class="gmail_default" style="font-size:small"></span><span style="color:rgb(31,73,125);font-family:Calibri,sans-serif;font-size:11pt">Fubo Rao,
Ph.D. </span></div><p class="MsoNormal" style="margin:0in 0in 0.0001pt;font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><span style="color:rgb(31,73,125)">
Materials Research Laboratory</span></p>

<p class="MsoNormal" style="margin:0in 0in 0.0001pt;font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><span style="color:rgb(31,73,125)">The
Grainger College of Engineering<br>
University of Illinois at Urbana-Champaign<br>
104 S. Goodwin Ave. Urbana, IL 61801<br>
Office: 217-244-6202<br>
Email: <a href="mailto:frao@illinois.edu%0b" target="_blank"><span style="color:blue">frao@illinois.edu<br>
</span></a></span></p></div></div></div><br></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Jun 8, 2017 at 2:51 PM <<a href="mailto:julia.aebersold@louisville.edu" target="_blank">julia.aebersold@louisville.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">




<div dir="ltr">
<div id="gmail-m_-4247909170743507294gmail-m_-7709687541889379047divtagdefaultwrapper" style="font-size:12pt;color:rgb(0,0,0);font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif" dir="ltr">
<p>I have a client that wants to sputter MgF2 in our processing chamber.  We do not have any experience with this material and wanted to ask folks if there were outgasing or contamination concerns.</p>
<p><br>
</p>
<div id="gmail-m_-4247909170743507294gmail-m_-7709687541889379047Signature">
<div style="font-family:Tahoma;font-size:13px">
<div style="font-family:Tahoma;font-size:13px">
<div style="font-family:Tahoma;font-size:13px">
<div style="font-family:Tahoma;font-size:13px">
<div>
<div>
<div>
<p>Cheers!</p>
<p><br>
</p>
<p>Julia Aebersold, Ph.D.</p>
<p>MNTC Cleanroom Manager</p>
<p>University of Louisville</p>
<p>2210 South Brook Street</p>
<p>Shumaker Research Building, Room 233</p>
<p>Louisville, KY  40292</p>
<p>(502) 852-1572</p>
<p><a href="http://louisville.edu/micronano" id="gmail-m_-4247909170743507294gmail-m_-7709687541889379047LPNoLP" target="_blank">http://louisville.edu/micronano/</a></p>
<p><br>
</p>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://www-mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div></div></div></div>