<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8">

</head>

<body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class="">

Hi All,

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">The lower electrode to our RIE system has taken quite a bit of abuse over the decade, see photo. There are scratches and pits caused by wafer shards. There’s also a film of something (probably PTFE oil) in the middle.</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Does anyone know how these scratches and pits might affect the Bosch Process? Any recommendations for cleaning this up?</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Thanks,<br class="">

<div class="">

<div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class="">

Long</div>

</div>

<img apple-inline="yes" id="533768D0-6081-49C3-B6B7-86CF797B26EE" src="cid:CEAD01E3-468C-431D-A3F3-56276537FAEC@serc.dhcp.e.uh.edu" class=""></div>

</body>

</html>