<div dir="ltr"><div>Dear Labnetwork team,</div><div>Has anyone had good experience characterizing plasma parameters? like plasma density, </div><div>Energy distribution and ions and neutral currents within the sputtering chamber? </div><div>I use ions assisted sputtering of oxides.</div><div><br></div><div>I do know that people use RFEA and LP and I read that Faraday cups are also used by some researchers as well.</div><div>REFA is the best but it has a temperature limitation. </div><div><br></div><div>I appreciated any recommendation.</div><div><br></div><div>Best regards,</div><div>Abdelilah Safir</div></div>