
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span>Hello all,</span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span><br>

</span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span>I am having problem with anisotropic etching of silicon by Deep Reactive ion etch. Grass or black silicon is the issue all the time, attaching some of the SEM pictures of the sample. Every recipe I tried to fine tune result in grass formation, even as

 the process initiates in tool wafer surface starts to turn brown and ultimately black. I tried varying SF6 gas flow, Bias power, Substrate temperature but every time I see is highly dense grass with no clean surface. </span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span>Any help will be greatly appreciated.</span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span><br>

</span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span>Thank you,<br>

Pallavi</span></div>

<div style="color: rgb(0, 0, 0); font-family: Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size: 12pt;">

<span><br>

</span></div>

</body>

</html>