<div dir="ltr">Hi,<div>We need to coat 3D pyramidal structures (similar to the picture) with 300 nm EBL resist ZEP520A. The height of the pyramid is around 5 microns. The target resists thickness is around 300 nm. The pyramids are on a 100mm diameter wafer and made out of SiO2.</div><div>Anyone can provide such a service? Do anyone has experience coating similar micro-hills? I spin-coated some shallow 1-micron cavities before with the same resist and it was successful conformal coating. I may need to spray coat or resist evaporation service for this application. What will be suitable for this?</div><div>Please advise.</div><div>Best regards,</div><div>Adam.</div><div><br></div><div><img src="cid:ii_kdzhoh6o0" alt="getImage.jpg" width="500" height="404" class="CToWUd a6T" tabindex="0"><br></div></div>