<div dir="ltr">Hi Adam,<div><br></div><div>Spray coating does make sense. For something like AZ 9260, 520 Cps, diluted with acetone 90%, you need atleast few tens of micron trench depth to have conformal coating. Less trench depth than that spray works as if spin coated with this resist and dilution.</div><div><br></div><div>Now your case is different. The resist is thinner or with lower viscosity and you have a hill instead of trench, both of which may work in your favor. I would check with SUSS Microtec or similar vendor for this application. </div><div><br></div><div>Also dry resist film application may damage your features and may not work as well, but worth looking into, I think.</div><div><br></div><div>Do you need conformal coating or just protect the features, that will also be critical to understand. </div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Kamal</div><div><br></div><div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, Aug 18, 2020 at 5:15 PM Adam Legacy <<a href="mailto:dradamlegacy@gmail.com">dradamlegacy@gmail.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr">Hi,<div>We need to coat 3D pyramidal structures (similar to the picture) with 300 nm EBL resist ZEP520A. The height of the pyramid is around 5 microns. The target resists thickness is around 300 nm. The pyramids are on a 100mm diameter wafer and made out of SiO2.</div><div>Anyone can provide such a service? Do anyone has experience coating similar micro-hills? I spin-coated some shallow 1-micron cavities before with the same resist and it was successful conformal coating. I may need to spray coat or resist evaporation service for this application. What will be suitable for this?</div><div>Please advise.</div><div>Best regards,</div><div>Adam.</div><div><br></div><div><img src="cid:ii_kdzhoh6o0" alt="getImage.jpg" width="500" height="404"><br></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Thanks,<br></div><div>Kamal </div><div><br></div></div></div></div></div></div></div></div>