<div dir="ltr">Dear Wing Leong,<div>It is a sensitive topic and here are some comments based on my personal experience and it reflects my personal opinion.</div><div>First I like to say that I did experience two clean rooms, one having a chase layout with CR and service areas in U form and one vertical structure with a ballroom and subfab.</div><div><br></div><div>Pros Ballroom/Subfab:</div><div>1- better and efficient use of surface area where total ballroom area is used for placing the tools.</div><div>2- It allows clustering the tools by functionality and possibly simplifies the installation of services like gaslines. </div><div>3- It allows the dirty services to be installed in the subfab and not influence the CR area (think pumps, heater/chillers, power supplies, etc which generate particles, heat, etc). </div><div>4- Subfab can be engineered to receive a good portion of the clean air from the ballroom which allows you to install dirty processes in the subfab and still enjoy a certain cleanliness of the environment. Think CMP and some wet etching processes.</div><div>5- It allows installation of high resolution EBL and SEM in the ballroom area with the stabilizing scaffold on ground level.</div><div><br></div><div>Cons Ballroom/Subfab:</div><div>1- Long distance between tools and primary pumps which can be overcome by oversizing slightly the pumps (more cost).</div><div>2- Possibly you may need to go to the subfab to check things if a process fails.</div><div><br></div><div>There are possibly other cons and hopefully other reactions will come.</div><div><br></div><div>To be more concrete I am personally a fervent supporter of the vertical structure. In my time at Eindhoven University of Technology, we had first a small 150m2 clean room (chase layout) at level 8 of our building. Later a bigger clean room was built early 2000's with an 800m2 foot-print in a vertical structure (ballroom and subfab). The ballroom hosted a 100kV EBL and a high resolution SEM.</div><div>At ANU we are in the process of constructing a new building with a 650m2 clean room in vertical structure.</div><div>On another note I had the opportunity to visit the HKUST NFF but the subfab was engineered differently than the one I described above.</div><div><br></div><div>Hope this helps and best regards,</div><div>Fouad</div><div>Ex-Manager ANFF ACT Node at the Australian National University</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Sat, Sep 5, 2020 at 2:00 AM Wing Leong CHUNG <<a href="mailto:mfcchung@ust.hk">mfcchung@ust.hk</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div>
<div dir="auto">Dear all,
<div><br>
</div>
<div>NFF of HKUST are planning to build a new cleanroom research facility. We want to know the pros and cons of a vertical structure (cleanroom with sub-fab)? Hope can give us some valuable suggestion.
</div>
<div><br>
</div>
<div>May I have some examples of cleanroom with vertical structure as well. <br>
<br>
Many Thank. </div>
<div>Jeff Chung</div>
<div><br>
</div>
<div>Senior Manager, NFF, HKUST</div>
<div><a href="http://www.nff.ust.hk" target="_blank">www.nff.ust.hk</a> </div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>