<div dir="ltr">Dear Lino,<div><br></div><div>We need a little more context for what you consider a "tiny piece". I routinely work with 1x1 cm pieces, and for those we use chucks that have an o-ring about 0.5 cm in diameter.</div><div><br></div><div>I have colleagues who have worked with 1mm x 1mm square diced samples. They mounted those on a large si handle wafer using double-sided carbon tape, like you would use to mount a sample on an SEM stub.</div><div><br></div><div>Hope this helps,</div><div>Orad</div><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">Orad Reshef, PhD</div><div dir="ltr"><br>Département de physique | Department of Physics<br>Université d’Ottawa | University of Ottawa<br><a href="http://boydnlo.ca" target="_blank">boydnlo.ca</a> | <a href="http://reshef.ca" target="_blank">reshef.ca</a><br></div></div></div></div></div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Nov 16, 2020 at 11:44 AM Lino Eugene <<a href="mailto:lino.eugene@uwaterloo.ca">lino.eugene@uwaterloo.ca</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-CA">
<div class="gmail-m_-792831686779737983WordSection1">
<div>
<p class="MsoNormal">Dear colleagues,<u></u><u></u></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">We are having more users who work on tiny pieces to be coated with photo and e-beam resist.<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">I am thinking of different ways to coat these pieces:<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="gmail-m_-792831686779737983MsoListParagraph"><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>custom chucks with a recess of the size of the chip<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="gmail-m_-792831686779737983MsoListParagraph"><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>Si carrier wafer with recess etched by SF6 plasma<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="gmail-m_-792831686779737983MsoListParagraph"><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>MicroSpray photoresist<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">I am wondering if you could share the techniques you use to get uniform coating on very small pieces.<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<p class="MsoNormal">Best,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;font-family:"Lucida Calligraphy""><u></u> <u></u></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;font-family:"Lucida Calligraphy"">Lino Eugene, P.Eng., Ph.D.,<u></u><u></u></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Micro/nanofabrication process engineer<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Quantum-Nano Fabrication and Characterization Facility<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">QNC 1611<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">University of Waterloo<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">200 University Avenue West<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Waterloo, ON, Canada  <u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">N2L 3G1</span><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Ph: +1 519-888-4567 #37788<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Cell: +1 226-929-1685</span><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Website:<span style="color:black">
<a href="https://fab.qnc.uwaterloo.ca/" target="_blank">https://fab.qnc.uwaterloo.ca/</a></span></span><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
</div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal" style="margin-bottom:12pt"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>