<div dir="ltr">How tiny are the pieces? When we do lithography on little diamonds, we use crystalbond wax to stick them to silicon wafers, then we just drip resist (pmma) over the diamonds. It's not very uniform, but it does the job. Larger, flat, millimeter-range pieces can also be waxed to the center of silicon wafers, without any etched recesses. Spinning resist will not provide a very uniform layer, but it's usually good enough for e-beam. Contact photolithography requires good uniformity; my advice is don't do it. When the pieces are > 5mm then they can be spun just like tiny wafers, with tiny spinner vacuum chucks. If the pieces have silicon nitride windows then you can avoid the vacuum chuck by making a spinner chuck with a simple recess, and no suction.<div><br><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr">--------------------------------<div><font size="1">Michael Rooks</font></div><div><font size="1"><a href="http://nano.yale.edu" target="_blank">nano.yale.edu</a></font> </div></div></div></div><br></div></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Nov 16, 2020 at 11:45 AM Lino Eugene <<a href="mailto:lino.eugene@uwaterloo.ca" target="_blank">lino.eugene@uwaterloo.ca</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-CA">
<div>
<div>
<p class="MsoNormal">Dear colleagues,<u></u><u></u></p>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">We are having more users who work on tiny pieces to be coated with photo and e-beam resist.<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">I am thinking of different ways to coat these pieces:<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>custom chucks with a recess of the size of the chip<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>Si carrier wafer with recess etched by SF6 plasma<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p><u></u><span style="font-family:Symbol"><span>·<span style="font:7pt "Times New Roman"">      
</span></span></span><u></u>MicroSpray photoresist<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal">I am wondering if you could share the techniques you use to get uniform coating on very small pieces.<u></u><u></u></p>
</div>
<div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
<p class="MsoNormal">Best,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;font-family:"Lucida Calligraphy""><u></u> <u></u></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;font-family:"Lucida Calligraphy"">Lino Eugene, P.Eng., Ph.D.,<u></u><u></u></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Micro/nanofabrication process engineer<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Quantum-Nano Fabrication and Characterization Facility<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">QNC 1611<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">University of Waterloo<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">200 University Avenue West<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Waterloo, ON, Canada  <u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">N2L 3G1</span><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Ph: +1 519-888-4567 #37788<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">Cell: +1 226-929-1685</span><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span lang="EN-US" style="font-size:10.5pt;font-family:Calibri,sans-serif">Website:<span style="color:black">
<a href="https://fab.qnc.uwaterloo.ca/" target="_blank">https://fab.qnc.uwaterloo.ca/</a></span></span><span style="font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif"><u></u><u></u></span></p>
</div>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal" style="margin-bottom:12pt"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>