<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Good Morning Everyone,</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

I trust everyone is well. I have been working on defining lithographic features that are lines separated by trenches both of which are 800nm wide.

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

I am getting adequate resolution, i.e, the lines are very close to spec. But the sidewalls slope significantly as can be seen in the attached picture.</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

My wafer is fabricated as follows:</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<ol>

<li> Bare Silicon Wafer</li><li>HMDS</li><li>Backside Antireflective Coating (XHiRC-16)</li><li>SPR-955 - 6000 rpm spin - PR thickness - 800nm</li><li>Bake 90 Celsius for 90 seconds<br>

</li><li>Exposure - 125 mJ/cm2 in a contact aligner</li><li>Development 1 minute with ultrasonic</li></ol>

<div><br>

</div>

<div><br>

</div>

<div><br>

</div>

<div><img size="175793" contenttype="image/png" style="max-width: 100%; user-select: none;" unselectable="on" tabindex="-1" data-outlook-trace="F:1|T:1" src="cid:f7fd4dca-63e7-4b8e-a0d8-a8e0e7b58cd5"><br>

</div>

<div><br>

</div>

<div><br>

</div>

<div>Does anyone know how I can achieve nice vertical sidewalls? <br>

</div>

<div><br>

</div>

<div><br>

</div>

<div>Cheers,</div>

<div>Sa'ad<br>

</div>

</div>

</body>

</html>