<div dir="ltr">Hello all, <div><br></div><div>We have a customer that needs some specific capabilities for low stress Silicon Nitride that we can't provide right now. Does anyone have a well established process that can reach these values. The specs are:</div><div><br></div><div>4" wafers </div>Target thicknesses are 500A and 1500A, <div>with stress 200MPa +/- 50 and refractive index 2.15 +/- 0.05</div><div><br></div><div>Please send me your contact info and I will pass it along. </div></div>