<div dir="auto">Hi Tom,</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Black Si is reported in literature and is usually obtained when etching with SF6+O2.</div><div dir="auto">Changing the O2 ratio may help.</div><div dir="auto">I do not have experience with cryo etch but I did some pillars etching in Si. If required we can discuss details offline.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Best regards </div><div dir="auto">Fouad Karouta</div><div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Sat, 10 Apr 2021 at 7:15 am, Ferraguto, Thomas S <<a href="mailto:Thomas_Ferraguto@uml.edu">Thomas_Ferraguto@uml.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">





<div lang="EN-US" link="#0563C1" vlink="#954F72">
<div class="m_-4180912332455718716WordSection1">
<p class="MsoNormal">Colleagues,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I’ve been doing some deeper than usual silicon etch on my Oxford ICP 380 in Cryo mode using and SiO2 mask (SF6 & O2)<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I’ve been getting what I believe to be a “Black silicon” artifact, and would either like to NOT get it or remove it.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">If anyone has thoughts or could point me in the right direction , I’d appreciate it.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Best Regards<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><a href="https://www.google.com/maps/search/1+University+Avenue+%0D%0A+Lowell+MA+01854?entry=gmail&source=g">
</a><p class="MsoNormal">Tom<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thomas S. Ferraguto<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Saab ETIC Nanofabrication Laboratory Director<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Saab ETIC Building Director<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="https://www.google.com/maps/search/1+University+Avenue+%0D%0A+Lowell+MA+01854?entry=gmail&source=g">1 University Avenue</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="https://www.google.com/maps/search/1+University+Avenue+%0D%0A+Lowell+MA+01854?entry=gmail&source=g">Lowell MA 01854</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Mobile 617-755-0910<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Land 978-934-1809<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Fax 978-934-1014 <u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><img src="cid:178b8cc0fba155f77111" style="width:667px;max-width:100%"><u></u><u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div>