<div dir="ltr">Hello, <div><br></div><div>We have a Leybold Dryvac 50P dry pump (model 13833) with a Roots Blower on our Oxford PlasmaLab 80+ PECVD/RIE tool that has met it's final days. Has anyone recently had one of these models refurbished (i.e. do you have a good vendor? ) I have reached out to Leybold and a handful of vacuum pump repair shops, but no luck so far.</div><div><br></div><div>Alternatively, has anyone successfully upgraded to a newer pumping stack on this PECVD tool? What was your experience?</div><div><br></div><div>Bill Kiether</div><div>Sr. Research Engineer</div><div>NCSU Nanofabrication Facility</div><div><a href="mailto:wjkiethe@ncsu.edu">wjkiethe@ncsu.edu</a></div></div>