<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000">Hi all,<br clear="all"></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000">I have started gathering information regarding OES systems for our Picosun PE-ALD tool. I would like to characterize not only the plasma itself, but species within the plasma, to investigate the chemical mechanism of film growth. Our tool has ports for in situ analysis, but I'm not 100% sure an OES system would be compatible. </div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000">I would love to hear from anyone who has used these systems (particularly on Picosun tools):  suggested resolution, hardware, any tips at all would be very helpful as I've not used OES before. I'm currently looking at Ocean Insight spectrometers. </div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000">Thanks,<br>Peter</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,helvetica,sans-serif;font-size:small;color:#000000"><br></div><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Peter G. Gordon, PhD<br>CU NanoFab Facility Administrator<br>Department of Chemistry<br>Carleton University</div><div>(613) 520-2600 ext.7561<br><a href="https://carleton.ca/fanssi/" target="_blank">https://carleton.ca/fanssi/</a></div><div><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>