<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">Hi Long,</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">The main problem with ZEP, as I see it, is it's cost. Other than that, it's very reliable, has better contrast than PMMA for the same conditions and produces very good results, not to mention that the selectivity to plasma etch is considerably better than PMMA. As for the dose to clear, in my experience working at 10 kV and 30 kV, ZEP requires about 1/3 of the PMMA dose to clear.</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">Regarding shelf life, I've recently tested a batch that expired back in 2015. Patterning wise, it worked just as well as a batch that we bought at the beginning of this year.</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">The choice between PMMA and ZEP, at least to me, boils down to application requirements and budget. If your application requires very smooth edges, or etching a little deeper without losing much resolution and you can afford a few $1000 for 100 mL of resist, I'd work with ZEP and perhaps consider using cold development to increase contrast. Otherwise, PMMA is a very good resist in general, and you can still try cold development to improve contrast and obtain very good results.</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">Cheers,</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">--<br>Gustavo de Oliveira Luiz, PhD<br>Applications/Research Specialist<br>nanoFAB, University of Alberta<br>+1 (780) 619-1463<br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Apr 29, 2021 at 9:46 AM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div style="overflow-wrap: break-word;">
Hi Guys,
<div><br>
</div>
<div>I have no experience with ZEP, but the data sheet suggest a critical dose of ~35 uC/cm2, approximately 1/10 of PMMA. What are the problems with ZEP and under what conditions is it worth the cost? Does it last forever in storage like PMMA?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
Long</div>
</div>
<br>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>