<div dir="ltr">The dose depends a lot on the developer. It's a tradeoff between resolution and sensitivity. You could develop ZEP in IPA/water or cold xylene for very high resolution. But then the sensitivity is closer to that of PMMA. We use CSAR instead of ZEP. It's the same polymer but a lot less expensive. Shelf life is very long - similar to PMMA. We still use a lot of PMMA, which is perfectly fine for liftoff.<div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr">--------------------------------<div><font size="1">Michael Rooks</font></div><div><font size="1"><a href="http://nano.yale.edu" target="_blank">nano.yale.edu</a></font> </div></div></div></div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Apr 29, 2021 at 11:47 AM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div style="overflow-wrap: break-word;">
Hi Guys,
<div><br>
</div>
<div>I have no experience with ZEP, but the data sheet suggest a critical dose of ~35 uC/cm2, approximately 1/10 of PMMA. What are the problems with ZEP and under what conditions is it worth the cost? Does it last forever in storage like PMMA?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
Long</div>
</div>
<br>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>