<div dir="ltr"><div>Five 9's (99.999) is good, Six 9's better.</div><div>Most suppliers call five 9's research grade.</div><div>I think either would be good.</div><div>Safety note: If you are going to use Chlorine, make sure your system has a load lock and some kind of toxic monitoring system.</div><div>Honeywell makes some good ones. </div><div>Also put your toxics gas bottles in an exhausted gas cabinet.</div><div><br></div><div>Jim</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Fri, May 14, 2021 at 7:59 AM Dr. Loïk Gence <<a href="mailto:loik.gence@fis.puc.cl">loik.gence@fis.puc.cl</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">Hi Keith,<br>
<br>
Thanks for your comment.<br>
<br>
that would be great. However, a purifier would represent additional <br>
costs of equipment and maintenance that seems expensive.<br>
<br>
We are talking about a small university cleanroom, and this will be the <br>
first RIE in Chile.<br>
<br>
The matter is mainly for SF6, Cl2, BCl3, CHF3, and CF4. I guess, <br>
purification of BCl3 and Cl2 is not that easy.<br>
<br>
<br>
Best,<br>
<br>
Loïk<br>
<br>
<br>
Le 13/05/2021 à 20:08, Keith Barnes a écrit :<br>
> Why not use a purifier?<br>
><br>
> Sent from my iPhone<br>
><br>
>> On May 13, 2021, at 4:38 PM, Dr. Loïk Gence <<a href="mailto:loik.gence@fis.puc.cl" target="_blank">loik.gence@fis.puc.cl</a>> wrote:<br>
>><br>
>> Hi All,<br>
>><br>
>> I hope you are all fine and safe.<br>
>><br>
>> We are planning the installation of our first RIE with chlorine and Fluorine chemistries.<br>
>><br>
>> I was wondering, what are purity grade of the gases you are using.  Always electronic grade, 5.0 grade or above ?  To avoid potential contamination of the gas lines, chamber, etc...  of course, choosing the best purity available is a solution. However, thinking about the cost/utility for standard etching processes, and with potential problem of local availability of high grade, what grade range would you consider safe for the equipment and standard processes?<br>
>><br>
>> Thanks in advance for your comment.<br>
>><br>
>><br>
>> Best,<br>
>><br>
>> Loïk<br>
>><br>
>><br>
<br>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><b>James Mitchell</b></i></font></span><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000"><span style="font-size:12px;background-color:rgb(248,248,248)"><i><font face="verdana, sans-serif"><b>Specialty Trades Technician</b></font></i></span></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Dept. of Electrical and Computer Engineering</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i>NCSU Nanofabrication Facility</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i>MRC RM243A </i></font><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>Box 7911</i></font><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><br></i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>2410 Campus Shore Dr., Raleigh, NC 27606</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><a href="mailto:jtmitch5@ncsu.edu" target="_blank"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>jtmitch5@ncsu.edu</i></font></a></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Desk: 919-515-5394</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Cell: 919-717-7325</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><img src="https://docs.google.com/uc?export=download&id=1QiGLugvY4oVHF_7tSBf4gS9OLOrs_wZf&revid=0B6IsvvpTMVVfZ1Q1Q2gzejVsY3dhRmZ3U3FwdnR5d0x1cWdVPQ" width="96" height="96"><br></i></font></div></div></div></div></div></div></div></div></div>