<div dir="ltr">Dear Loik,<div><br><div>Depending upon the application you can choose the purity.<br><div>Mostly we are using 5N (99.999%), or 4N5 (99.995) purity gases.</div><div>Linde and Mathison can supply the cylinders  (bottles)</div><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div>Thanks & Regards</div><div>Srinivasa Reddy Kuppireddi<br></div><div>Project Manager </div><div>Center for NEMS & Nano Photonics (CNNP)</div><div>ESB 225, Dept. of Electrical Engineering</div><div>Indian Institute of Technology(IIT) Madras</div><div>Chennai-600036, Indian</div><div>+91 44 2257 5493 (O)</div><div>+91 789 326 8010(M)</div></div></div></div></div></div></div></div><br></div></div></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Fri, May 14, 2021 at 5:10 AM Dr. Loïk Gence <<a href="mailto:loik.gence@fis.puc.cl" target="_blank">loik.gence@fis.puc.cl</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">Hi All,<br>
<br>
I hope you are all fine and safe.<br>
<br>
We are planning the installation of our first RIE with chlorine and <br>
Fluorine chemistries.<br>
<br>
I was wondering, what are purity grade of the gases you are using.  <br>
Always electronic grade, 5.0 grade or above ?  To avoid potential <br>
contamination of the gas lines, chamber, etc...  of course, choosing the <br>
best purity available is a solution. However, thinking about the <br>
cost/utility for standard etching processes, and with potential problem <br>
of local availability of high grade, what grade range would you consider <br>
safe for the equipment and standard processes?<br>
<br>
Thanks in advance for your comment.<br>
<br>
<br>
Best,<br>
<br>
Loïk<br>
<br>
<br>
<br>
-- <br>
<br>
Dr. Loïk Gence<br>
Assistant Professor<br>
Instituto de Física<br>
Pontificia Universidad Católica de Chile<br>
Avda. Vicuña Mackenna 4860,<br>
CP 7820436 Santiago<br>
Lab: +56 95504 9648<br>
<br>
<br>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>