<div><div dir="auto">Hi Darick and others,</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Please check the toxicity of the material especially when you do get V2O5.</div><div dir="auto">Several years ago we banned VO2 target from use in a system where we were swapping targets twice a week due to that risk.</div><div dir="auto">Better to have a dedicated machine to deposit this material.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Regards,</div><div dir="auto">Fouad Karouta</div><div dir="auto">Ex manager ANFF ACT Node</div><div dir="auto">Canberra, Australia</div></div><div><div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, 10 Jun 2021 at 9:59 am, Darick Baker <<a href="mailto:darick@uw.edu" target="_blank">darick@uw.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr">We have a lab user who is interested in sputtering vanadium dioxide. I realize this has been asked before without an answer, but I thought I'd try again. Does anybody have a VO2 process running and would be willing to do some depositions for us?<div>Barring that, does anybody have any tips or successes with reactively sputtering VO2?</div><div><br></div><div>Thanks for the help.<br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr">Darick Baker, PhD<br>Business Outreach and Customer Development<br>New User Orientation<br>Research Engineer - Deposition<br>Washington Nanofabrication Facility (WNF)<br>University of Washington<br>Fluke Hall 115, Box 352143<br>Desk: 206.221.8265 Cell: 206.395.4049<br><a href="mailto:fab-support@wnf.uw.edu" target="_blank">fab-support@wnf.uw.edu</a><br><a href="https://www.wnf.washington.edu/" target="_blank">https://www.wnf.washington.edu/</a><br>Pronouns: he/him<br></div></div></div></div></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div>
</div>